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[發明專利]一種高效的硅片切削液的制備方法在審

專利信息
申請號: 201410847129.6 申請日: 2014-12-31
公開(公告)號: CN104560339A 公開(公告)日: 2015-04-29
發明(設計)人: 聶金根 申請(專利權)人: 鎮江市港南電子有限公司
主分類號: C10M173/00 分類號: C10M173/00;C10N30/06
代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212132 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 高效 硅片 切削 制備 方法
【說明書】:

技術領域

發明涉及一種切削液,特別涉及一種高效的硅片切削液的制備方法。

背景技術

隨著社會的發展,能源危機日益嚴重的今天,開發利用新能源已經越來越收到人們的關注,太陽能由于器無污染、可再生、無地域性等優點,越來越受到人們的青睞,太陽能產業也來越得以發展。而伴隨太陽能光伏產業的成熟,硅片的使用也越來越多。由于硅片屬于硬性材料,其切割工藝在加工工藝中占有很重要的位置。硅片通過切割?線供應帶有磨料的砂漿,通過磨料、切割線及硅晶體之間的磨料磨損原理實現硅片的切割,該方式可實現多片硅片的切割,切割效率高,但由于是磨料與切割絲之間有較多的摩擦,對切割絲的冷卻及潤滑要求更高。現有技術中的硅片切削液,雖然具有較好的潤滑及導熱性能,但存在切割硅片成品率低、切割表面粗糙且不容易清洗的問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種切割表面光滑、切割成品率高的硅片切削液。

為了解決上述技術問題,本發明一種高效的硅片切削液的制備方法的制備方法,其中,包括以下步驟:首先稱量各個原料,然后,依次將單乙醇胺、十二烷基磺酸鈉、聚乙二醇、油酸二乙醇胺、硫化油脂、油酸酰胺、丙三醇,水(按重量份數計)導入攪拌機中攪拌,攪拌均勻即可得切削液。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,所述攪拌時間為2min。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,所述攪拌溫度為120度。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,所述攪拌速率為120r/min。

一種高效的硅片切削液的制備方法,由單乙醇胺20-40份、十二烷基磺酸鈉5-13份、聚乙二醇4-12份、油酸二乙醇胺25-36份、硫化油脂7-10份、油酸酰胺3-6份、丙三醇19-35份,水?20-47份組成,以重量份數計。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,優選地,由單乙醇胺29份、十二烷基磺酸鈉11份、聚乙二醇7份、油酸二乙醇胺33份、硫化油脂9份、油酸酰胺5份、丙三醇25份,水?37份組成,以重量份數計。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,所述水為去離子水。

上述一種高效的硅片切削液的制備方法,其中,所述油酸酰胺與丙三醇的重量比為1:5。

本發明可有效提高磨料分散性,?有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率達到99.9%;且可在硅片表面形成天然保護膜,提高硅片成品表面光滑度,大大改善硅片的使用效果的同時,提高了切削液的潤滑效果。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明作進一步說明。

實施例一

一種高效的切削液,由單乙醇胺29份、十二烷基磺酸鈉11份、聚乙二醇7份、油酸二乙醇胺33份、硫化油脂9份、油酸酰胺5份、丙三醇25份,水?37份組成,以?重量份數計,將上述原料依次放入攪拌機中攪拌,攪拌溫度為120度,以120r/min的速度下,攪拌2?分鐘。

性能指標:將此切削液與SiC磨料按1∶1重量份數比混合,進行硅片切割,?切割片數為2000片,切割成品率為99.99%,硅片易清洗。

實施例二

一種高效的切削液,由單乙醇胺31份、十二烷基磺酸鈉9份、聚乙二醇9份、油酸二乙醇胺25份、硫化油脂7份、油酸酰胺6份、丙三醇35份,水?47份組成,以?重量份數計,將上述原料依次放入攪拌機中攪拌,攪拌溫度為120度,以120r/min的速度下,攪拌2?分鐘。

性能指標:將此切削液與SiC磨料按1∶1重量份數比混合,進行硅片切割,?切割片數為2000片,切割成品率為97.1%,硅片易清洗。

實施例三

一種高效的切削液,由單乙醇胺20份、十二烷基磺酸鈉5份、聚乙二醇4份、油酸二乙醇胺36份、硫化油脂10份、油酸酰胺3份、丙三醇19份,水?20份組成,以?重量份數計,將上述原料依次放入攪拌機中攪拌,攪拌溫度為120度,以120r/min的速度下,攪拌2?分鐘。

性能指標:將此切削液與SiC磨料按1∶1重量份數比混合,進行硅片切割,?切割片數為2000片,切割成品率為98.3%,硅片易清洗。

本技術領域中的普通技術人員應當認識到,以上的實施例僅是用來說明本?發明的目的,而并非用作對本發明的限定,只要在本發明的實質范圍內,對以上所述實施例的變化、變型都將落在本發明的權利要求的范圍內。

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