[發明專利]一種高效的硅片切削液的制備方法在審
| 申請號： | 201410847129.6 | 申請日： | 2014-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN104560339A | 公開（公告）日： | 2015-04-29 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | C10M173/00 | 分類號： | C10M173/00;C10N30/06 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高效 硅片 切削 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高效的硅片切削液的制備方法的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：首先稱量各個原料，然后，依次將單乙醇胺、十二烷基磺酸鈉、聚乙二醇、油酸二乙醇胺、硫化油脂、油酸酰胺、丙三醇，水（按重量份數計）導入攪拌機中攪拌，攪拌均勻即可得切削液。
2.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，所述攪拌時間為2min。
3.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，所述攪拌溫度為120度。
4.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，所述攪拌速率為120r/min。
5.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，由單乙醇胺20-40份、十二烷基磺酸鈉5-13份、聚乙二醇4-12份、油酸二乙醇胺25-36份、硫化油脂7-10份、油酸酰胺3-6份、丙三醇19-35份，水?20-47份組成，以重量份數計。
6.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，優選地，由單乙醇胺29份、十二烷基磺酸鈉11份、聚乙二醇7份、油酸二乙醇胺33份、硫化油脂9份、油酸酰胺5份、丙三醇25份，水?37份組成，以重量份數計。
7.如權利要求1所述的一種高效的硅片切削液的制備方法，其特征在于，所述水為去離子水。
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