[發明專利]一種高效率易清洗的硅片清洗劑在審
| 申請號: | 201410846665.4 | 申請日: | 2014-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN104531369A | 公開(公告)日: | 2015-04-22 |
| 發明(設計)人: | 聶金根 | 申請(專利權)人: | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號: | C11D1/22 | 分類號: | C11D1/22;C11D3/60;C11D3/382;C11D10/02 |
| 代理公司: | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
| 地址: | 212132 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高效率 清洗 硅片 洗劑 | ||
技術領域
本發明涉及一種清洗劑,特別涉及一種高效率易清洗的硅片清洗劑。
背景技術
隨著社會的發展,能源危機日益嚴重的今天,開發利用新能源已經越來越收到人們的關注,太陽能由于器無污染、可再生、無地域性等優點,越來越受到人們的青睞,太陽能產業也來越得以發展。而伴隨太陽能光伏產業的成熟,硅片的使用也越來越多。
清洗最為硅片的一個生產工序之一,清洗的好壞程度對硅片的使用性能有著很大的影響。清洗的主要目的是為了清洗掉切割過程中產生的沙粒,殘留的切削磨料、金屬離子及指紋等,使硅片表面達到無腐蝕、無氧化、無殘留等技術指標。傳統的硅片清洗,由于各個方法不一樣,采用的清洗劑也不一樣。現有技術中的清洗劑清洗效果較差,對于硅片表面的污漬難以做到更好的去除,降低了硅片的使用效果。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種能將硅片清洗干凈,使用簡單的高效率清洗劑。
為了解決上述技術問題,本發明一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其組成成分包括(按重量份數計):
二醇醚??????????????????20-50份
二醇酯???????????????????7-12份
油酸羥乙基咪唑啉?????????7-19份
十二烷基苯磺酸鈉?????????19-21份
磷酸氫鉀?????????????????15-27份
丙二醇????????????????????3-9份
氟化銨????????????????????7-10份
一號溶劑??????????????????7-13份
二號溶劑??????????????????3-6份
三號溶劑??????????????????20-33份。
上述一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其特征在于,優選地,其組成成分包括(按重量份數計):
二醇醚??????????????????35份
二醇酯???????????????????9份
油酸羥乙基咪唑啉?????????15份
十二烷基苯磺酸鈉?????????21份
磷酸氫鉀?????????????????21份
丙二醇????????????????????7份
氟化銨????????????????????9份
一號溶劑??????????????????13份
二號溶劑??????????????????5份
三號溶劑??????????????????25份。
上述一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其中,所述一號溶劑為乙醇溶液。
上述一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其中,所述乙醇溶液濃度為75%。
上述一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其中,所述二號溶劑為柑橘油。
上述一種高效率易清洗的硅片清洗劑,其中,所述三號溶劑為去離子水。
本發明一種高效率易清洗的硅片清洗劑,可有效提高對硅片的清潔程度,配方簡單易于操作,對環境無不利影響,去污力強,高效且易清洗,提高了硅片的清洗速度與耐用性能,有利于提高硅片清洗的清潔率,使硅片清潔率率達到99.99%。
具體實施方式
下面結合具體實施例對本發明作進一步說明。
實施例一
一種高效率易清洗的硅片清洗劑,由二醇醚35份、二醇酯9份、油酸羥乙基咪唑啉15份、十二烷基苯磺酸鈉21份、磷酸氫鉀21份、丙二醇7份、氟化銨?9份、乙醇溶液13份、柑橘油5份、去離子水25份組成。以重量份數計,將上述原料以120r/min的速度下,攪拌15?分鐘。
性能指標:清洗硅片1000片,清洗潔凈程度達到99.99%
實施例二
一種高效率易清洗的硅片清洗劑,由二醇醚45份、二醇酯11份、油酸羥乙基咪唑啉11份、十二烷基苯磺酸鈉17份、磷酸氫鉀19份、丙二醇8份、氟化銨10份、乙醇溶液8份、柑橘油3份、去離子水29份組成。以重量份數計,將上述原料以120r/min的速度下,攪拌15?分鐘。性能指標:清洗硅片1000片,清洗潔凈程度達到99.13%
實施例三
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