[發(fā)明專利]一種高效率易清洗的硅片清洗劑在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410846665.4 | 申請日： | 2014-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN104531369A | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 聶金根 | 申請（專利權(quán)）人： | 鎮(zhèn)江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | C11D1/22 | 分類號： | C11D1/22;C11D3/60;C11D3/382;C11D10/02 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高效率 清洗 硅片 洗劑 | ||
1.一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其特征在于，其組成成分包括（按重量份數(shù)計）:
二醇醚??????????????????20-50份
二醇酯???????????????????7-12份
油酸羥乙基咪唑啉?????????7-19份
十二烷基苯磺酸鈉?????????19-21份
磷酸氫鉀?????????????????15-27份
丙二醇????????????????????3-9份
氟化銨????????????????????7-10份
一號溶劑??????????????????7-13份
二號溶劑??????????????????3-6份
三號溶劑??????????????????20-33份。
2.如權(quán)利要求1所述的一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其特征在于，優(yōu)選地，其組成成分包括（按重量份數(shù)計）:
二醇醚??????????????????35份
二醇酯???????????????????9份
油酸羥乙基咪唑啉?????????15份
十二烷基苯磺酸鈉?????????21份
磷酸氫鉀?????????????????21份
丙二醇????????????????????7份
氟化銨????????????????????9份
一號溶劑??????????????????13份
二號溶劑??????????????????5份
三號溶劑??????????????????25份。
3.如權(quán)利要求1所述的一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其中，所述一號溶劑為乙醇溶液。
4.如權(quán)利要求1所述的一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其中，所述乙醇溶液濃度為75%。
5.如權(quán)利要求1所述的一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其中，所述二號溶劑為柑橘油。
6.如權(quán)利要求1所述的一種高效率易清洗的硅片清洗劑，其中，所述三號溶劑為去離子水。
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