[發明專利]圖案形成方法及系統、圖案印刷方法及系統

在審

• 申請號: 201410828019.5
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN104742555A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 增市干雄;川越理史;上野博之
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: B41M5/025
• 分類號: B41M5/025;B41F16/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;向勇

技術領域

本發明涉及一種使形成有凸部的版的轉印面與涂敷有涂敷液的橡皮布等擔載體的表面相互貼緊后使版和擔載體剝離來形成期望圖案的圖案形成技術，以及使用該圖案形成技術在基板的表面上印刷圖案的圖案印刷技術。

背景技術

作為上述圖案形成技術以及圖案印刷技術的一個例子，例如在JP特開2011-216917號公報中記載了將具有期望圖案的金屬薄膜印刷在基板上的發明。在該JP特開2011-216917號公報記載的發明中，在平板橡皮布上涂敷墨水后，使該平板橡皮布與以預定的圖案設有凸部的版相互面對面地接觸。通過這樣，能夠將平板橡皮布上的墨水中的與凸部相對應的部分選擇性地轉印到版上(第一轉印步驟)。然后，使相互接觸的平板橡皮布與版分離，將兩者剝離(第一剝離步驟)。通過這樣，在平板橡皮布上的沒有被版轉印的區域殘留有墨水，成為與凸部的圖案相反的反轉圖案。從而，在平板橡皮布上形成期望圖案。

另外，通過使擔載上述圖案的平板橡皮布與基板相互面對面地接觸，使平板橡皮布上殘留的墨水，即進行了圖案成形的墨水層轉印到基板上(第二轉印步驟)。其后，使相互接觸的平板橡皮布與基板分離(第二剝離步驟)。通過這樣，將平板橡皮布上的墨水層印刷在基板上。

在上述JP特開2011-216917號公報中記載的發明中，在平板橡皮布的整個表面涂敷有墨水。因此，通過實施上述第一轉印步驟和第一剝離步驟，對在平板橡皮布上的整個面涂敷的墨水層進行圖案成形用于印刷。另一方面，被轉印到版上的墨水難以再利用，在目前的情況下是從版上去除掉后就廢棄了。如這樣的現有技術并不能說是有效地使用墨水，因此希望具有墨水消耗量的限制技術。特別是，當通過進行上述轉印剝離步驟來制造半導體裝置、液晶顯示器、有機EL(electroluminescence)顯示器等電子設備時，在很多情況下要使用價格比較高的墨水等涂敷液，減少涂敷液消耗量的技術成為重要課題之一。

發明內容

本發明鑒于上述問題而作出，目的在于供給一種使用少的涂敷液就能夠形成期望圖案層的圖案形成技術以及能夠使用該圖案形成技術低成本地印刷圖案的圖案印刷技術。

本發明的第一實施方式為一種圖案形成方法，其特征在于，涂敷步驟，從相對于平板狀的擔載體的表面移動的噴嘴朝向擔載體的表面噴出涂敷液，來形成一次圖案層，第一轉印步驟，在使版的形成有凸部的轉印面與擔載體的形成有一次圖案層的表面相向的狀態下，使擔載體與版相互緊貼，將一次圖案層的一部分轉印至凸部，第一剝離步驟，使相互緊貼的擔載體和版剝離，在擔載體以及版中的一者上形成二次圖案層。

另外，本發明的第二實施方式為圖案印刷方法，其特征在于，圖案形成步驟，使用上述的圖案形成方法，形成二次圖案層，印刷步驟，將二次圖案層轉印形成于基板上。

另外，本發明的第三實施方式為圖案形成系統，其特征在于，涂敷單元，使用于噴出涂敷液的噴嘴相對于平板狀的擔載體的表面移動，來在擔載體的表面上形成一次圖案層，轉印單元，在版的形成有凸部的轉印面與擔載體的形成有一次圖案層的表面相向的狀態下，該轉印單元使擔載體與版相互緊貼，來將一次圖案層的一部分轉印至凸部，剝離單元，使相互緊貼的擔載體與版剝離，來在擔載體以及版中的一者上形成二次圖案層。

進一步地，本發明的第四實施方式為圖案印刷系統，其特征在于，具有與上述的圖案形成系統相同的結構的圖案形成單元，將由圖案形成單元形成的二次圖案層轉印至基板的被印刷面，來印刷二次圖案層。

在使用版對涂敷有涂敷液的擔載體進行圖案成形的情況下，一般使用下面的方法。即，使版的轉印面緊貼于涂敷有涂敷液的擔載體的表面上將涂覆液的一部分轉印至版的凸部后，使擔載體與版剝離來形成圖案層。因此，在通過擔載體的表面上殘留的涂敷液形成圖案層的情況下，轉印至版上的涂敷液變成不需要的，被廢棄。相反，在通過轉印至版上的涂敷液形成圖案層的情況下則擔載體上殘留的涂敷液變成不需要的，被廢棄。這樣，雖然在任何一種情況下都存在不得不廢棄的涂敷液，但是在本發明中作為廢棄對象的涂敷液的量與現有技術相比更少。即，由于在現有技術中，在擔載體的整個表面上涂敷涂敷液，將該涂敷液的一部分轉印至版的凸部，形成二次圖案層，所以不得不廢棄很多涂敷液。與此相對，在本發明中，僅在擔載體的表面的局部涂敷涂敷液來形成一次圖案層，在一次圖案層的范圍內進行轉印處理。因此，涂敷液的廢棄量比現有技術少。