[發明專利]圖案形成方法及系統、圖案印刷方法及系統

在審

• 申請號: 201410828019.5
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN104742555A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 增市干雄;川越理史;上野博之
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: B41M5/025
• 分類號: B41M5/025;B41F16/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;向勇

1.一種圖案形成方法，其特征在于，包括：

涂敷步驟，從相對于平板狀的擔載體的表面移動的噴嘴朝向所述擔載體的所述表面噴出涂敷液，來形成一次圖案層，

第一轉印步驟，在使版的形成有凸部的轉印面與所述擔載體的形成有所述一次圖案層的所述表面相向的狀態下，使所述擔載體與所述版相互緊貼，將所述一次圖案層的一部分轉印至所述凸部，

第一剝離步驟，使相互緊貼的所述擔載體和所述版剝離，在所述擔載體以及所述版中的一者上形成二次圖案層。

2.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第一轉印步驟中，將構成所述一次圖案層的圖案的周邊部轉印至所述版的所述凸部，

在所述第一剝離步驟中，使所述圖案的轉印至所述凸部的所述周邊部從所述擔載體的所述表面剝離，對所述一次圖案層進行圖案成形，來在所述擔載體的所述表面上形成所述二次圖案層。

3.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第一轉印步驟中，將構成所述一次圖案層的圖案的中央部轉印至所述版的所述凸部，

在所述第一剝離步驟中，使所述圖案的轉印至所述凸部的所述中央部從所述擔載體的所述表面剝離，來在所述版的所述凸部上形成所述二次圖案層。

4.如權利要求1至3中任一項所述的圖案形成方法，其特征在于，在所述涂敷步驟中，從所述噴嘴連續地噴出涂敷液，來形成所述一次圖案層。

5.如權利要求1至4中任一項所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第一轉印步驟中，通過將所述擔載體局部地推向所述版側，使所述一次圖案層的一部分與所述凸部相抵接，來將所述一次圖案層的一部分轉印至所述凸部。

6.如權利要求5所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第一轉印步驟中，一邊使輥構件與所述擔載體的擔載有所述一次圖案層的一個面的相反側的另一個面相抵接，將所述擔載體局部地推向所述版側，一邊使所述輥構件沿著與所述一個面平行的方向移動。

7.一種圖案印刷方法，其特征在于，包括：

圖案形成步驟，使用權利要求1所述的圖案形成方法，形成二次圖案層，

印刷步驟，將所述二次圖案層轉印形成于基板上。

8.如權利要求7所述的圖案印刷方法，其特征在于，

在所述圖案形成步驟的所述第一轉印步驟中，將構成所述一次圖案層的圖案的周邊部轉印至所述版的所述凸部，

在所述圖案形成步驟的所述第一剝離步驟中，使所述圖案的轉印至所述凸部的所述周邊部從所述擔載體的所述表面剝離，對所述一次圖案層進行圖案成形，來在所述擔載體的所述表面上形成所述二次圖案層，

在所述印刷步驟中，實施第二轉印步驟和第二剝離步驟，

在所述第二轉印步驟中，在使基板的表面與所述擔載體的形成有所述二次圖案層的所述表面相向的狀態下，使所述擔載體與所述基板相互緊貼，來將所述二次圖案轉印至所述基板的所述表面，

在所述第二剝離步驟中，使相互緊貼的所述擔載體與所述基板剝離，來在所述基板上形成所述二次圖案層。

9.如權利要求7所述的圖案印刷方法，其特征在于，

在所述圖案形成步驟的所述第一轉印步驟中，將構成所述一次圖案層的圖案的中央部轉印至所述版的所述凸部，

在所述圖案形成步驟的所述第一剝離步驟中，使所述圖案的轉印至所述凸部的所述中央部從所述擔載體的所述表面剝離，來在所述版的所述凸部上形成所述二次圖案層，

在所述印刷步驟中，實施第二轉印步驟和第二剝離步驟，

在所述第二轉印步驟中，在使基板的表面與所述版的形成有所述二次圖案層的所述凸部相向的狀態下，使所述版與所述基板相互緊貼，來將所述二次圖案層轉印至所述基板的所述表面，

在所述第二剝離步驟中，使相互緊貼的所述版與所述基板剝離，來在所述基板上形成所述二次圖案層。