[發明專利]一種位置標定的方法及裝置有效
| 申請號： | 201410822825.1 | 申請日： | 2014-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN105783710B | 公開（公告）日： | 2018-09-11 |
| 發明（設計）人： | 李愷;霍杰;劉子陽;李向東;葉樂志;唐亮 | 申請（專利權）人： | 北京中電科電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/14;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 許靜;黃燦 |
| 地址： | 100176 北京市經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 位置 標定 方法 裝置 | ||
1.一種位置標定的方法，應用于裝片設備中，其特征在于，包括：
獲取第一光學系統的中心與預設標定板的中心的第一坐標差，其中，所述預設標定板按照預設工藝軌跡運動至所述第一光學系統的視場中；
獲取第二光學系統的中心與所述預設標定板的中心的第二坐標差，其中，所述預設標定板按照所述預設工藝軌跡從所述第一光學系統的視場運動至所述第二光學系統的視場中；
根據所述第一坐標差和所述第二坐標差，確定所述第一光學系統與所述第二光學系統之間的距離及夾角，使得所述裝片設備能夠根據所述距離及夾角實現芯片位置的標定；
其中，所述獲取第一光學系統的中心與預設標定板的中心的第一坐標差，具體包括：
獲取所述第一光學系統的中心在預設三維坐標系中的第一坐標；
獲取所述預設標定板的中心在所述預設三維坐標系中的第二坐標，其中，所述預設標定板的中心由所述第一光學系統進行標定；
根據所述第一坐標和所述第二坐標，確定所述第一坐標差；
其中，所述獲取第二光學系統的中心與所述預設標定板的中心的第二坐標差，具體包括：
獲取所述第二光學系統的中心在所述預設三維坐標系中的第三坐標；
獲取所述預設標定板的中心在所述預設三維坐標系中的第四坐標，其中，所述預設標定板的中心由所述第二光學系統進行標定；
根據所述第三坐標和所述第四坐標，確定所述第二坐標差。
2.根據權利要求1所述的位置標定的方法，其特征在于，所述第一光學系統包括工業相機，一端與所述工業相機連接的變倍或定倍鏡頭以及與所述鏡頭的另一端連接的轉折棱鏡；
所述第二光學系統包括工業相機以及與所述工業相機連接的變倍或定倍鏡頭；其中，
當所述預設標定板在所述第一光學系統的視場中時，所述預設標定板的中心由所述第一光學系統通過調節所述轉折棱鏡的位置來進行標定；
當所述預設標定板在所述第二光學系統的視場中時，所述預設標定板的中心由所述第二光學系統通過調節所述鏡頭及工業相機的位置來進行標定。
3.根據權利要求2所述的位置標定的方法，其特征在于，所述第二光學系統與所述預設標定板之間設置一透鏡，通過調整所述透鏡位置來實現所述第二光學系統對所述預設標定板的中心的標定。
4.根據權利要求1所述的位置標定的方法，其特征在于，所述根據所述第一坐標差和所述第二坐標差，確定所述第一光學系統與所述第二光學系統之間的距離及夾角，具體包括：
根據所述第一坐標差和所述第二坐標差，確定所述第一光學系統與所述第二光學系統之間的坐標差；其中，
所述坐標差包括：所述第一光學系統和所述第二光學系統沿所述預設三維坐標系的X軸方向上的距離、所述第二光學系統和所述第二光學系統沿所述預設三維坐標系的Y軸方向上的距離以及所述第一光學系統和所述第二光學系統與所述預設三維坐標系的Z軸之間的夾角。
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