[發(fā)明專利]一種位置標(biāo)定的方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410822825.1
• 申請(qǐng)日: 2014-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN105783710B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李愷;霍杰;劉子陽;李向東;葉樂志;唐亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00;G01B11/14;G01B11/26
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種位置標(biāo)定的方法，應(yīng)用于裝片設(shè)備中，其特征在于，包括：

獲取第一光學(xué)系統(tǒng)的中心與預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心的第一坐標(biāo)差，其中，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板按照預(yù)設(shè)工藝軌跡運(yùn)動(dòng)至所述第一光學(xué)系統(tǒng)的視場(chǎng)中；

獲取第二光學(xué)系統(tǒng)的中心與所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心的第二坐標(biāo)差，其中，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板按照所述預(yù)設(shè)工藝軌跡從所述第一光學(xué)系統(tǒng)的視場(chǎng)運(yùn)動(dòng)至所述第二光學(xué)系統(tǒng)的視場(chǎng)中；

根據(jù)所述第一坐標(biāo)差和所述第二坐標(biāo)差，確定所述第一光學(xué)系統(tǒng)與所述第二光學(xué)系統(tǒng)之間的距離及夾角，使得所述裝片設(shè)備能夠根據(jù)所述距離及夾角實(shí)現(xiàn)芯片位置的標(biāo)定；

其中，所述獲取第一光學(xué)系統(tǒng)的中心與預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心的第一坐標(biāo)差，具體包括：

獲取所述第一光學(xué)系統(tǒng)的中心在預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系中的第一坐標(biāo)；

獲取所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心在所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系中的第二坐標(biāo)，其中，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心由所述第一光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定；

根據(jù)所述第一坐標(biāo)和所述第二坐標(biāo)，確定所述第一坐標(biāo)差；

其中，所述獲取第二光學(xué)系統(tǒng)的中心與所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心的第二坐標(biāo)差，具體包括：

獲取所述第二光學(xué)系統(tǒng)的中心在所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系中的第三坐標(biāo)；

獲取所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心在所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系中的第四坐標(biāo)，其中，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心由所述第二光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定；

根據(jù)所述第三坐標(biāo)和所述第四坐標(biāo)，確定所述第二坐標(biāo)差。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定的方法，其特征在于，所述第一光學(xué)系統(tǒng)包括工業(yè)相機(jī)，一端與所述工業(yè)相機(jī)連接的變倍或定倍鏡頭以及與所述鏡頭的另一端連接的轉(zhuǎn)折棱鏡；

所述第二光學(xué)系統(tǒng)包括工業(yè)相機(jī)以及與所述工業(yè)相機(jī)連接的變倍或定倍鏡頭；其中，

當(dāng)所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板在所述第一光學(xué)系統(tǒng)的視場(chǎng)中時(shí)，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心由所述第一光學(xué)系統(tǒng)通過調(diào)節(jié)所述轉(zhuǎn)折棱鏡的位置來進(jìn)行標(biāo)定；

當(dāng)所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板在所述第二光學(xué)系統(tǒng)的視場(chǎng)中時(shí)，所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心由所述第二光學(xué)系統(tǒng)通過調(diào)節(jié)所述鏡頭及工業(yè)相機(jī)的位置來進(jìn)行標(biāo)定。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置標(biāo)定的方法，其特征在于，所述第二光學(xué)系統(tǒng)與所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板之間設(shè)置一透鏡，通過調(diào)整所述透鏡位置來實(shí)現(xiàn)所述第二光學(xué)系統(tǒng)對(duì)所述預(yù)設(shè)標(biāo)定板的中心的標(biāo)定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一坐標(biāo)差和所述第二坐標(biāo)差，確定所述第一光學(xué)系統(tǒng)與所述第二光學(xué)系統(tǒng)之間的距離及夾角，具體包括：

根據(jù)所述第一坐標(biāo)差和所述第二坐標(biāo)差，確定所述第一光學(xué)系統(tǒng)與所述第二光學(xué)系統(tǒng)之間的坐標(biāo)差；其中，

所述坐標(biāo)差包括：所述第一光學(xué)系統(tǒng)和所述第二光學(xué)系統(tǒng)沿所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系的X軸方向上的距離、所述第二光學(xué)系統(tǒng)和所述第二光學(xué)系統(tǒng)沿所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系的Y軸方向上的距離以及所述第一光學(xué)系統(tǒng)和所述第二光學(xué)系統(tǒng)與所述預(yù)設(shè)三維坐標(biāo)系的Z軸之間的夾角。