[發明專利]一種光電探測器光譜響應分析系統

有效

• 申請號: 201410820514.1
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN104483104B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 秦琦;吳南健
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 宋焰琴

技術領域

本發明涉及光電探測器技術領域，特別是涉及一種光電探測器光譜響應分析系統。

背景技術

光譜響應(Spectral Response)反應光電探測器與輻照波長λ之間的關系，是光電探測器件一項基本性能參數。光電探測器作為一種感光傳感器件，其對于不同波長λ的輻照光波，同樣具有不同的響應特性。

對于圖像傳感器的光譜響應，目前多采用寬帶濾光片法進行測試。從輻照光源出射的光波，經濾光片后投射到被測光電探測器上。由于濾光片的波長選擇性，僅該濾光片中心波長及附近一定帶寬內的光波可以透過。檢測上述波長光波照射下，探測器的輸出值，并對比標準探測器輸出值，從而獲得受試探測器在該波長下的光譜響應度。連續選取不同中心波長的濾光片，從而可獲得在一個光譜波段內，探測器的光譜響應曲線。

現有技術最大缺點是濾光片帶寬較寬，當輻照光波透過濾光片后，透射的光波中既包含了濾光片的中心波長光波，又包括其附近的其他波長光波。例如，常用的中心波長550nm的可見光濾光片，其波長范圍常在±20nm～±100nm。因此，檢測獲得的探測器輸出是該微小波段光波的累積效果，故檢測精度較低。

另外，為獲得光譜響應曲線，需要連續更換濾光片，并不斷切換照射標準探測器和受試探測器進行對比。操作差異往往造成光斑對準的機械精度誤差，從而也會對測試結果帶來誤差。

因此希望有一種光電探測器光譜響應分析系統來克服或至少減輕現有技術的上述缺陷中的一個或多個。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光電探測器光譜響應分析系統來克服或至少減輕現有技術的上述缺陷中的一個或多個。

為實現上述目的，本發明提供一種光電探測器光譜響應分析系統，所述光電探測器光譜響應分析系統包括：

可控單色光源，用于在一定波段以內連續可調的方式輸出固定頻率的單色光波；

探測器室，其包括至少一個參考光電探測器和待測光電探測器，所述至少一個參考光電探測器和待測光電探測器用于探測所述單色光波的光譜響應信號并輸出；以及

控制裝置，用于提供系統電源，并控制所述可控單色光源以及探測器室，并接收光譜響應信號，以生成待測光電探測器的相對光譜響應曲線。

優選地，所述光電探測器光譜響應分析系統進一步包括準直光路，所述準直光路設置在可控單色光源和探測器室之間，用于對所述可控單色光源輸出的單色光波的發散角進行調整。

優選地，所述光電探測器光譜響應分析系統進一步包括阻尼隔振平臺，作為光電探測器光譜響應分析系統的水平基臺。

優選地，所述可控單色光源包括一個溴鎢燈和一個氘燈。

優選地，所述可控單色光源包括光學斬波器，所述光學斬波器與控制裝置相連，并按照設定頻率對入射光波進行斬波調制，將連續光波調制為固定頻率的單色光波，并將所述固定頻率輸出至控制裝置，用于與所述控制裝置內的鎖相放大器配合使用。

優選地，所述可控單色光源進一步包括濾光輪片，在光路上，濾光輪片位于光學斬波器的下游，用于消除多級光譜。

優選地，所述濾光輪片與控制裝置相連，能夠根據設定的光源工作波段，自動更換濾光片。

優選地，所述探測器室包括光闌和光學衰減器，用于進行入射光光強控制。

優選地，所述探測器室包括步進電機，所述步進電機由所述控制裝置控制，而自動驅動執行機構切換被照射樣品。

本發明的光電探測器光譜響應分析系統改進光源設計，實現一定波段內出射光波的連續輸出。從而解決現有技術方案中，因透射光波帶寬較寬，造成累積效應從而測試精度低的技術問題。

附圖說明

圖1是根據本發明一實施例的光電探測器光譜響應分析系統的結構示意圖。

圖2是圖1所示光電探測器光譜響應分析系統中的原理示意圖。

附圖標記：