[發明專利]一種光電探測器光譜響應分析系統

有效

• 申請號: 201410820514.1
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN104483104B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 秦琦;吳南健
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種待測光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，包括：

可控單色光源(1)，用于在一定波段內以連續可調的方式輸出固定頻率的單色光波；

探測器室(3)，其包括至少一個參考光電探測器和待測光電探測器，所述至少一個參考光電探測器和待測光電探測器用于探測所述單色光波的光譜響應信號并輸出；以及

控制裝置(4)，用于控制所述可控單色光源(1)以及探測器室(3)，并接收所述光譜響應信號，以生成待測光電探測器的相對光譜響應曲線；

所述可控單色光源(1)包括至少一個光源、光學斬波器(15)、濾光輪片(16)和分光裝置，所述光學斬波器(15)與控制裝置(4)相連，并按照所述控制裝置(4)輸出的設定頻率對所述至少一個光源輸出的光波進行斬波調制，將連續光波調制為固定頻率的單色光波，并將所述固定頻率輸出至控制裝置(4)，用于與所述控制裝置(4)內的鎖相放大器配合使用；在光路上，濾光輪片(16)位于光學斬波器(15)的下游，用于消除多級光譜，經斬波調制后的光依次經過所述濾光輪片(16)和入射狹縫，進入分光光路；所述濾光輪片(16)能夠在控制裝置(4)輸出的設定的光源工作波段，自動更換濾光片；所述分光裝置用于將光源所發射出的光波，分解成不同波長的單色光波，并形成一定波段內的連續光譜；

所述分光裝置包括準直凹面鏡(17)、平面反射光柵(19)、成像凹面鏡(18)；入射狹縫位于準直凹面鏡(17)的焦平面，通過入射狹縫的光波經準直凹面(17)反射，形成平行光束投射到安裝于六棱柱上的平面反射光柵(19)上；經平面反射光柵(19)色散和成像凹面鏡(18)反射，最終在出射狹縫上獲得單色光波信號；所述入射狹狹縫和出射狹縫固定設置于可控單色光源(1)的殼體上。

2.如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，進一步包括準直光路(2)，所述準直光路(2)設置在可控單色光源(1)和探測器室(3)之間，用于對所述可控單色光源(1)輸出的單色光波的發散角進行調整。

3.如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，進一步包括阻尼隔振平臺(5)，其作為水平基臺，用于承載所述可控單色光源(1)和探測器室(3)。

4.如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，所述探測器室(3)還包括光闌(31)和光學衰減器(32)，用于進行入射光光強控制。

5.如權利要求4所述的光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，所述探測器室(3)還包括步進電機，所述步進電機由所述控制裝置(4)控制，而自動驅動執行機構切換被照射樣品。

6.如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統，其特征在于，在測試時，所述控制裝置(4)控制所述探測器室(3)獲取無光照情況下參考光電探測器和待測光電探測器的電流輸出值和所述單色光波光照情況下參考光電探測器和待測光電探測器的電流輸出值。