[發(fā)明專利]一種光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410820514.1
• 申請(qǐng)日: 2014-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104483104B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦琦;吳南健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種待測(cè)光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，包括：

可控單色光源(1)，用于在一定波段內(nèi)以連續(xù)可調(diào)的方式輸出固定頻率的單色光波；

探測(cè)器室(3)，其包括至少一個(gè)參考光電探測(cè)器和待測(cè)光電探測(cè)器，所述至少一個(gè)參考光電探測(cè)器和待測(cè)光電探測(cè)器用于探測(cè)所述單色光波的光譜響應(yīng)信號(hào)并輸出；以及

控制裝置(4)，用于控制所述可控單色光源(1)以及探測(cè)器室(3)，并接收所述光譜響應(yīng)信號(hào)，以生成待測(cè)光電探測(cè)器的相對(duì)光譜響應(yīng)曲線；

所述可控單色光源(1)包括至少一個(gè)光源、光學(xué)斬波器(15)、濾光輪片(16)和分光裝置，所述光學(xué)斬波器(15)與控制裝置(4)相連，并按照所述控制裝置(4)輸出的設(shè)定頻率對(duì)所述至少一個(gè)光源輸出的光波進(jìn)行斬波調(diào)制，將連續(xù)光波調(diào)制為固定頻率的單色光波，并將所述固定頻率輸出至控制裝置(4)，用于與所述控制裝置(4)內(nèi)的鎖相放大器配合使用；在光路上，濾光輪片(16)位于光學(xué)斬波器(15)的下游，用于消除多級(jí)光譜，經(jīng)斬波調(diào)制后的光依次經(jīng)過(guò)所述濾光輪片(16)和入射狹縫，進(jìn)入分光光路；所述濾光輪片(16)能夠在控制裝置(4)輸出的設(shè)定的光源工作波段，自動(dòng)更換濾光片；所述分光裝置用于將光源所發(fā)射出的光波，分解成不同波長(zhǎng)的單色光波，并形成一定波段內(nèi)的連續(xù)光譜；

所述分光裝置包括準(zhǔn)直凹面鏡(17)、平面反射光柵(19)、成像凹面鏡(18)；入射狹縫位于準(zhǔn)直凹面鏡(17)的焦平面，通過(guò)入射狹縫的光波經(jīng)準(zhǔn)直凹面(17)反射，形成平行光束投射到安裝于六棱柱上的平面反射光柵(19)上；經(jīng)平面反射光柵(19)色散和成像凹面鏡(18)反射，最終在出射狹縫上獲得單色光波信號(hào)；所述入射狹狹縫和出射狹縫固定設(shè)置于可控單色光源(1)的殼體上。

2.如權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括準(zhǔn)直光路(2)，所述準(zhǔn)直光路(2)設(shè)置在可控單色光源(1)和探測(cè)器室(3)之間，用于對(duì)所述可控單色光源(1)輸出的單色光波的發(fā)散角進(jìn)行調(diào)整。

3.如權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括阻尼隔振平臺(tái)(5)，其作為水平基臺(tái)，用于承載所述可控單色光源(1)和探測(cè)器室(3)。

4.如權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，所述探測(cè)器室(3)還包括光闌(31)和光學(xué)衰減器(32)，用于進(jìn)行入射光光強(qiáng)控制。

5.如權(quán)利要求4所述的光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，所述探測(cè)器室(3)還包括步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)由所述控制裝置(4)控制，而自動(dòng)驅(qū)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)切換被照射樣品。

6.如權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器光譜響應(yīng)分析系統(tǒng)，其特征在于，在測(cè)試時(shí)，所述控制裝置(4)控制所述探測(cè)器室(3)獲取無(wú)光照情況下參考光電探測(cè)器和待測(cè)光電探測(cè)器的電流輸出值和所述單色光波光照情況下參考光電探測(cè)器和待測(cè)光電探測(cè)器的電流輸出值。