[發明專利]一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置在審
| 申請號： | 201410818866.3 | 申請日： | 2015-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN104493690A | 公開（公告）日： | 2015-07-29 |
| 發明（設計）人： | 劉思佳 | 申請（專利權）人： | 蘇州凱锝微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/27 | 分類號： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 適應 不同 尺寸 夾持 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，包括抓桿、夾持部（3），伸縮圓環（1），所述抓桿包括三個上端連接在所述伸縮圓環（1）上的弧形抓桿（2）；所述弧形抓桿（2）的下端連接所述夾持部（3）；所述弧形抓桿（2）上的中部設置有滑槽（5）；所述滑槽（5）上設置箍環（4）。
2.?根據權利要求1所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述夾持部（3）為呈圓弧形的夾持桿。
3.根據權利要求1所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述夾持部（3）的內側設置圓弧形卡槽（31）。
4.根據權利要求3所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述圓弧形卡槽（31）的表面設置橡膠。
5.根據權利要求1所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述滑槽（5）在三個弧形抓桿（2）上的位置相同。
6.根據權利要求5所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述箍環（4）與滑槽（5）相交處設置卡扣（6）。
7.根據權利要求1所述的一種適應不同尺寸晶圓的夾持裝置，其特征是，所述伸縮圓環（1）的直徑大小可調節，以適應5、6、8、12寸的晶圓。
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