[發(fā)明專利]用于電子組件的基板結(jié)構(gòu)及其制法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410815467.1 | 申請日: | 2014-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN105789245A | 公開(公告)日: | 2016-07-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃月娟;呂奇明 | 申請(專利權(quán))人: | 財團法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 陳小雯 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 電子 組件 板結(jié) 及其 制法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于電子組件的基板結(jié)構(gòu)及其制法,特別是涉及一種可 保護微結(jié)構(gòu)的基板結(jié)構(gòu)及其制法。
背景技術(shù)
撓性電子主要分為撓性組件、撓性顯示、撓性感測與撓性能源,撓性電 子由于輕薄可撓曲已成為新世代新穎電子產(chǎn)品的發(fā)展趨勢。撓性電子的應(yīng)用 仍主要集中在顯示器、照明與太陽光電三大產(chǎn)業(yè)為主,其中,應(yīng)用有機發(fā)光 二極管(OLED)的照明光源已被視為下一代的新照明光源。但OLED照明若 要能應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)時,效率再提高的問題亟需解決,目前除了可由發(fā)光材料來 改善之外,仍會局限于光取出的結(jié)果,根據(jù)Snell’s法則計算,現(xiàn)在所能利用 到的發(fā)光實際上只有約20%左右,若經(jīng)由改善基板模式(SubstrateModes)的 外部取光(ExternalLightOut-coupling)技術(shù)和針對其它模式(Waveguideand SurfacePlasmonModes)的內(nèi)部取光(InternalLightOut-coupling)技術(shù),則 OLED的發(fā)光將渴望獲得非常大的改善空間。
因此,光取出效率的改善,實已成為目前亟欲解決的課題。
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題,本發(fā)明提供一種用于電子組件的基板結(jié)構(gòu)的制法,包 括:在支撐載體上形成一具有相對的第一表面及第二表面的脫模層,該脫模 層具有第一面積且該脫模層以該第二表面接觸形成于該支撐載體上;在該脫 模層的第一表面形成第一微結(jié)構(gòu),并固化該脫模層,使該脫模層對該支撐載 體之間具有第一黏合度;在該支撐載體及該脫模層上形成撓性基板,且該撓 性基板以第二面積覆蓋該支撐載體及該脫模層,其中,該第二面積大于該第 一面積,且與該脫模層的第一表面接觸的該撓性基板表面具有相對于該第一 微結(jié)構(gòu)的第二微結(jié)構(gòu);以及固化該撓性基板,使該撓性基板與該脫模層之間 具有第二黏合度,其中,該第一黏合度大于該第二黏合度。
根據(jù)前述的制法,本發(fā)明還提供用于電子組件的基板結(jié)構(gòu),包括支撐載 體;脫模層,具有相對的第一表面及第二表面,該脫模層具有第一面積且該 脫模層以該第二表面接觸設(shè)置于該支撐載體上,其中,該第一表面具有第一 微結(jié)構(gòu),且該脫模層與該支撐載體之間具有第一黏合度;以及撓性基板,設(shè) 置于該脫模層的第一表面上,且該撓性基板以面積大于該第一面積的第二面 積覆蓋該支撐載體及該脫模層,其中,該撓性基板與該脫模層之間具有第二 黏合度,且該第一黏合度大于該第二黏合度,而與該脫模層的第一表面接觸 的該撓性基板表面具有相對于該第一微結(jié)構(gòu)的第二微結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的用于電子組件的基板結(jié)構(gòu)具有微結(jié)構(gòu)的圖案,不需再額外貼附 外取光薄膜,由簡易的結(jié)構(gòu)及制作工藝方法即可解決取光的問題,再者,通 過該撓性基板與該支撐載體的黏合度,在進行后續(xù)組件制作工藝中不會脫 落,爾后,利用該撓性基板與該脫模層易于離型的特性,在后續(xù)電子組件完 成后,沿該脫模層具有第一面積的邊界切割撓性基板,便可輕易地將該撓性 基板與該脫模層分離,并且通過該支撐載體支撐撓性基板,使撓性基板易于 進行后續(xù)組件制作工藝。
附圖說明
圖1為脫模層形成微結(jié)構(gòu)的示意圖;
圖2為基板結(jié)構(gòu)的示意圖;
圖3為具有電子組件的基板結(jié)構(gòu)示意圖;以及
圖4為具有電子組件的撓性基板與該脫模層分離的示意圖。
主要組件符號說明
10支撐載體
11脫模層
11a第一表面
11b第二表面
11c第一微結(jié)構(gòu)
12c第二微結(jié)構(gòu)
12撓性基板
20模具
30電子組件
A1第一面積
A2第二面積
C,C’端點
具體實施方式
以下通過特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式,該領(lǐng)域技術(shù)人員 可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點及功效。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





