[發(fā)明專利]用于將基板的基板位置壓緊的壓緊器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410810596.1
• 申請日: 2014-12-09
• 公開（公告）號: CN104701220B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吉多·祖特爾
• 申請（專利權(quán)）人: 貝思瑞士股份公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 黃剛;車文

1.用于將基板的基板位置壓緊的壓緊器，包含：

板(1)，所述板(1)帶有中央開口(2)和與所述中央開口(2)相鄰地布置在兩側(cè)上的兩個另外的開口(3,4)；

壓緊器板(10)，所述壓緊器板(10)帶有開口(11)和在所述開口(11)處布置在底側(cè)上的壓緊器條(12)，其中所述壓緊器板(10)以鉸接的方式安裝在所述板(1)的底側(cè)上，使得所述壓緊器板(10)的所述開口(11)與所述板(1)的所述中央開口(2)對準(zhǔn)；

第一氣動驅(qū)動器和第二氣動驅(qū)動器，其中所述第一氣動驅(qū)動器和所述第二氣動驅(qū)動器中的每一個均包含缸(5,6)和驅(qū)動元件，在所述缸(5,6)和所述驅(qū)動元件之間形成壓力室，其中所述第一驅(qū)動器的所述缸(5)被固定在所述板(1)的上側(cè)上，且被固定在所述另外的開口中的第一個開口(3)的上方，并且所述第二驅(qū)動器的所述缸(6)被固定在所述板(1)的上側(cè)上，且被固定在所述另外的開口中的第二個開口(4)的上方；以及

第一壓力管線(9)，所述第一壓力管線(9)用于對所述第一氣動驅(qū)動器和所述第二氣動驅(qū)動器的所述壓力室供應(yīng)壓縮氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓緊器，其中所述第一氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件包含接合在所述壓緊器板(10)的球形凹部(15)中的球形凸起(17)，并且所述第二氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件包含接合在所述壓緊器板(10)的伸長凹部(16)中的球形凸起(17)，所述伸長凹部(16)包含帶有圓形橫截面的中間段，其中所述第一氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件的所述球形凸起(17)與所述壓緊器板(10)的所述球形凹部(15)具有相同的半徑，并且其中所述第二氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件的所述球形凸起(17)的半徑等于所述壓緊器板(10)的所述伸長凹部(16)的所述中間段的所述橫截面的半徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓緊器，其中所述氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件是活塞(7,8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓緊器，其中所述氣動驅(qū)動器的所述驅(qū)動元件是隔膜(18,19)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓緊器，進(jìn)一步包含第二壓力管線(21)和傳感器，所述第二壓力管線(21)用于對所述第一氣動驅(qū)動器和所述第二氣動驅(qū)動器的所述壓力室供應(yīng)氣體，所述傳感器用于監(jiān)測所述第二壓力管線(21)中的壓力或氣流，使得能夠在操作中檢查當(dāng)終止供應(yīng)壓縮氣體時所述活塞(7,8)是否返回至縮回位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓緊器，進(jìn)一步包含第二壓力管線(21)和傳感器，所述第二壓力管線(21)用于對所述第一氣動驅(qū)動器和所述第二氣動驅(qū)動器的所述壓力室供應(yīng)氣體，所述傳感器用于監(jiān)測所述第二壓力管線(21)中的壓力或氣流，使得能夠在操作中檢查當(dāng)終止供應(yīng)壓縮氣體時所述隔膜(18,19)是否返回至縮回位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓緊器，其中借助于螺釘(13)進(jìn)行在所述板(1)的底側(cè)上對所述壓緊器板(10)的支承，所述螺釘(13)被引導(dǎo)穿過復(fù)位彈簧(14)且穿過在所述板(1)中的無螺紋鉆孔，所述復(fù)位彈簧(14)布置在所述板(1)的上側(cè)上，并且所述螺釘(13)被旋入到所述壓緊器板(10)中，其中所述復(fù)位彈簧(14)被預(yù)張緊，使得所述螺釘(13)將所述壓緊器板(10)拉靠所述板(1)的底側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓緊器，其中借助于螺釘(13)進(jìn)行在所述板(1)的底側(cè)上對所述壓緊器板(10)的支承，所述螺釘(13)被引導(dǎo)穿過復(fù)位彈簧(14)且穿過在所述板(1)中的無螺紋鉆孔，所述復(fù)位彈簧(14)布置在所述板(1)的上側(cè)上，并且所述螺釘(13)被旋入到所述壓緊器板(10)中，其中所述復(fù)位彈簧(14)被預(yù)張緊，使得所述螺釘(13)將所述壓緊器板(10)拉靠所述板(1)的底側(cè)。