[發明專利]用于校正激光束的設備以及校正激光束的方法

在審

• 申請號: 201410809674.6
• 申請日: 2014-12-23
• 公開（公告）號: CN104722917A
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 咸常根;徐永德;韓承范;梁相熙
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 陶敏;臧建明

1.一種用于校正激光束的設備，其特征在于所述設備包括：

激光光源，發射激光；

輸出端反射鏡，將從所述激光光源發射的激光束反射到基板，其中所述輸出端反射鏡透射未被反射的剩余激光束；

校正系統，包括至少一個校正透鏡且基于所述激光束的輸出方向布置在所述輸出端反射鏡之前，其中所述校正系統收集關于穿過所述輸出端反射鏡的所述剩余激光束的線束輪廓數據；以及

控制器，連接到所述校正系統且取決于從所述校正系統收集的所述線束輪廓數據的變形而控制所述校正透鏡的移動。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述校正系統包括：

感測單元，基于所述激光束的所述輸出方向布置在所述輸出端反射鏡之后，其中所述感測單元收集關于所述剩余激光束的線束輪廓數據且計算激光線束的變化；以及

致動器，連接到所述校正透鏡以增大或減小所述激光線束的寬度、斜率和陡度中的至少一個，其中所述致動器在X軸方向、Z軸方向和θ軸方向中的至少一個上致動所述校正透鏡。

3.根據權利要求2所述的設備，其中所述校正系統包括布置在所述校正透鏡外部的支撐框架，且

所述致動器連接到所述支撐框架以在X軸方向、Z軸方向和θ軸方向中的至少一個上移動所述支撐框架。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述校正透鏡包括在所述激光束的所述輸出方向上并排布置的第一和第二校正透鏡，且所述第一和第二校正透鏡相互連結以調整所述激光線束的寬度。

5.根據權利要求2所述的設備，其中所述控制器接收從所述感測單元計算出的所述激光線束的變化，且取決于由所述致動器的移動引起的所述激光線束的所述變化計算致動器的移動距離以控制所述校正透鏡的移動。

6.根據權利要求4所述的設備，其中所述控制器通過計算所述激光線束的所述變化來重復校正，直到經由所述致動器的操作實現的所述激光線束的校正值在誤差范圍內為止。

7.根據權利要求1所述的設備，還包括：

光學系統，處理從所述激光光源發射的激光束的形狀和能量分布；以及

基板輻射透鏡系統，聚集從所述輸出端反射鏡反射的激光束以將聚集的激光束輸出到基板。

8.一種校正激光束的方法，其特征在于所述方法包括：

收集關于所述激光束當中的穿過反射鏡的剩余激光束的線束輪廓數據；

將所收集的線束輪廓數據與現有線束輪廓數據進行比較；

當所述所收集的線束輪廓數據不同于所述現有線束輪廓數據時，計算變形線束輪廓數據的變化；以及

取決于所述變化而校正激光線束的輪廓。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述線束輪廓數據的所述變化的所述計算包括計算所述現有線束輪廓數據與所述所收集的線束輪廓數據之間的差值。

10.根據權利要求8或9所述的方法，其中所述激光線束的所述校正包括基于所述激光束的輸出方向在X軸方向、Z軸方向和θ軸方向中的至少一個上移動在輸出反射鏡之前的校正透鏡。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述激光線束的所述校正包括在所述X軸方向上移動所述校正透鏡以增大或減小所述激光線束的寬度。

12.根據權利要求10所述的方法，其中所述激光線束的所述校正包括在所述Z軸方向上移動所述校正透鏡以增大或減小所述激光線束的陡度。

13.根據權利要求10所述的方法，其中所述激光線束的所述校正包括在所述θ軸方向上移動所述校正透鏡以增大或減小所述激光線束的斜率。

14.根據權利要求10所述的方法，其中所述校正透鏡的所述移動包括根據所計算出的變化和由致動器的1毫米移動引起的所述線束輪廓數據的預設變化調整所述致動器的移動值。

15.根據權利要求11所述的方法，其中所述計算使用以下表達式：

<表達式>

取決于線束輪廓數據的變化的致動器調整值＝線束輪廓數據的變化/由致動器的1毫米移動引起的線束輪廓數據的變化。