[發明專利]用于顯示器的彩膜基板的制造方法有效
| 申請號： | 201410798615.3 | 申請日： | 2014-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN104503128B | 公開（公告）日： | 2018-01-09 |
| 發明（設計）人： | 趙鋒 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1335 | 分類號： | G02F1/1335;G02F1/1333;G03F1/32 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市光明新區公*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 顯示器 彩膜基板 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于顯示器的彩膜基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：
提供一基板本體；
在所述基板本體上涂覆色阻層，所述色阻層包括紅色色阻層、綠色色阻層及藍色色阻層，其中任意相鄰的所述色阻層部分重疊，形成重疊區域；
利用光罩對所述色阻層進行曝光，其中所述光罩包括遮光區域以及由所述遮光區域圍設而成的透光區域，所述遮光區域的靠近所述透光區域的邊緣設置有間隔排列的遮光圖案，進而形成半透光的灰階光罩區域，并使所述灰階光罩區域對應所述重疊區域；
對曝光后的所述色阻層進行顯影，以獲得色阻圖案，其中所述重疊區域形成半曝光，以使所述色阻圖案在與所述灰階光罩區域的對應區域的厚度在向其邊緣的方向上逐漸變薄。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述灰階光罩區域設置于所述遮光區域的相對兩側，以使得所述色阻圖案的相對兩側的與所述灰階光罩區域的對應區域的厚度在向其邊緣的方向上逐漸變薄。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述灰階光罩區域設置于所述遮光區域的四周，以使得所述色阻圖案四周的與所述灰階光罩區域的對應區域的厚度在向其邊緣的方向上逐漸變薄。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述遮光圖案為矩形、三角、梯形或半圓形。
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