[發(fā)明專利]一種厚層光刻膠涂覆裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410798319.3
• 申請日: 2014-12-19
• 公開（公告）號: CN104503209A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文昊;楊碩;巴音賀希格;齊向東;趙旭龍;姜巖秀;焦慶斌
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所22210
• 代理人: 劉慧宇

1.一種厚層光刻膠涂覆裝置，其特征是，

在承載平臺(12)上安裝有第一調(diào)節(jié)螺絲組(13)用于對承載平臺(12)調(diào)平，使用第一水平檢測儀(14)檢測承載平臺(12)的水平度；

在承載平臺(12)上安裝有直線導(dǎo)軌副(15)，直線導(dǎo)軌副(15)的兩條導(dǎo)軌成平行放置，每條直線導(dǎo)軌副(15)上各安裝一個(gè)導(dǎo)軌滑套(16)，兩個(gè)導(dǎo)軌滑套(16)通過兩套高低調(diào)節(jié)組件(17)與光刻膠涂覆移動機(jī)構(gòu)(18)相連接；

在光刻膠涂覆移動機(jī)構(gòu)(18)整體長度二分之一處垂直安裝第一推拉桿(19)，第一推拉桿(19)的另一側(cè)通過萬向軸承(20)與第二推拉桿(21)相連接，第一推拉桿(19)與第二推拉桿(21)在萬向軸承(20)兩側(cè)成一條直線，第二推拉桿(21)的另一側(cè)與直線電機(jī)動子(23)相連接；

直線電機(jī)動子(23)與直線電機(jī)定子(22)共同組成直線電機(jī)，直線電機(jī)定子(22)固定在承載平臺(12)上；

光學(xué)基底承載臺(25)安裝在兩條直線導(dǎo)軌副(15)之間，光學(xué)基底(24)放置在光學(xué)基底承載臺(25)上，在光學(xué)基底承載臺(25)上安裝有第二調(diào)節(jié)螺絲組(26)用于對光學(xué)基底承載臺(25)調(diào)平，使用第二水平檢測儀(27)檢測光學(xué)基底承載臺(25)的水平度，在光學(xué)基底承載臺(25)四周配置有固定螺絲組(28)。