[發(fā)明專利]一種硅料清洗方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410798245.3 | 申請日： | 2014-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN105750275B | 公開（公告）日： | 2018-09-21 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王雪峰;陳立軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;C01B33/037 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人： | 羅笛 |
| 地址： | 755100 寧夏回*** | 國省代碼： | 寧夏;64 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清洗 方法 | ||
1.一種硅料清洗方法，其特征在于，具體包括以下步驟：
步驟1)，預清洗，將硅料表面的非硅物質(zhì)清除；
步驟2)，對經(jīng)過步驟1)處理的硅料表面進行噴砂；
步驟3)，清潔，將步驟2)中的硅料表面殘留的灰塵雜物擦洗干凈；
步驟4)，將步驟3)中擦洗過的硅料放置在注有純水的超聲機內(nèi)進行超聲清洗，所述純水電阻率不小于12MΩ·cm，超聲清洗時間為10min-15min，溫度為40℃-70℃；
步驟5)，將步驟4)中經(jīng)過超聲清洗的硅料放入旋轉(zhuǎn)機內(nèi)進行純水清洗，所述純水電阻率不小于12MΩ·cm，所述清洗方式為旋轉(zhuǎn)清洗，清洗時間為2min-10min，且正轉(zhuǎn)反轉(zhuǎn)各1min-5min，清洗溫度為20℃-50℃；
步驟6)，烘干，將步驟5)中經(jīng)過純水清洗后的硅料放入烘箱中進行烘干，即完成硅料清洗過程。
2.如權(quán)利要求1所述的硅料清洗方法，其特征在于，所述步驟2)中的噴砂介質(zhì)為硅顆粒，硅顆粒的平均粒徑為0.2mm-0.6mm。
3.如權(quán)利要求1所述的硅料清洗方法，其特征在于，所述步驟6)中烘干溫度為175℃-185℃，烘干時間為15min-25min。
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