[發明專利]壓印方法、壓印裝置以及用于物品的制造方法

有效

• 申請號: 201410784784.1
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN104730859B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 宮島義一;高林幸夫;首藤伸一
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 柳愛國

1.一種通過使用模具而在基體上形成壓印材料的圖案的壓印方法，該方法包括：

將基體裝入壓印裝置中；

通過使用供給單元供給所述壓印材料；

在基體裝入壓印裝置中之后除去粘附在形成于模具上的圖案上的全部或一部分異物顆粒，這通過使得模具和供給至壓印裝置內的與基體不同的部件上的所述壓印材料接觸，并固化所述部件上的所述壓印材料以便形成所述壓印材料的圖案而進行；以及

通過使用已經從其上除去異物顆粒的模具在已經裝入壓印裝置內的基體上形成所述壓印材料的圖案；

其中：當所述基體裝入壓印裝置時所述部件與所述供給單元之間的距離比當所述基體裝入所述壓印裝置時所述基體與所述供給單元之間的距離短。

2.根據權利要求1所述的壓印方法，其中：當除去異物顆粒時，通過使得模具和供給至偽板上的壓印材料相互接觸而形成所述壓印材料的圖案，該偽板被提供作為所述部件。

3.根據權利要求1或2所述的壓印方法，其中：所述部件布置在當所述基體裝入壓印裝置中時所述供給單元的位置與所述基體的位置之間。

4.一種壓印裝置，被構造成通過使用模具而在基體上形成壓印材料的圖案，該壓印裝置包括：

基體保持單元，該基體保持單元構造成保持基體；

供給單元，用于供給所述壓印材料；以及

控制單元，該控制單元構造成執行控制，以便在基體由基體保持單元保持之后使得模具和供給至與基體不同的部件上的所述壓印材料相互接觸，固化所述部件上的壓印材料以便在所述部件上形成所述壓印材料的圖案，然后使得模具從所述部件釋放，并使用從所述部件釋放的模具來在基體上形成壓印材料的圖案；

其中：當所述基體裝入壓印裝置時所述部件與所述供給單元之間的距離比當所述基體裝入所述壓印裝置時所述基體與所述供給單元之間的距離短。

5.根據權利要求4所述的壓印裝置，其中：

基體保持單元保持基體和偽板，該偽板被提供作為所述部件；以及

控制單元執行控制，以使得模具和供給至由基體保持單元保持的偽板上的壓印材料相互接觸，并固化該壓印材料以便形成所述壓印材料的圖案。

6.根據權利要求5所述的壓印裝置，其中：基體保持單元將偽板保持在保持模具的模具保持單元的位置和當基體裝入壓印裝置中時基體保持單元保持基體的基體位置之間的位置處。

7.根據權利要求4所述的壓印裝置，還包括：偽板保持單元，該偽板保持單元構造成保持被提供作為所述部件的偽板；

其中，控制單元執行控制，以使得模具和供給至由偽板保持單元保持的偽板上的壓印材料相互接觸，并固化該壓印材料以便形成圖案。

8.根據權利要求7所述的壓印裝置，其中：偽板保持單元布置在保持模具的模具保持單元的位置和當基體裝入壓印裝置中時基體保持單元保持基體的基體位置之間的位置處。

9.根據權利要求7所述的壓印裝置，還包括：基體平臺，該基體平臺構造成使得基體保持單元運動，

其中，偽板保持單元能夠獨立于基體平臺運動。

10.一種壓印裝置，構造成通過使用模具而在基體上形成壓印材料的圖案，該壓印裝置包括：

基體保持單元，該基體保持單元構造成保持基體；

偽板保持單元，該偽板保持單元構造成保持被提供作為與基體不同的部件的偽板；

供給單元，用于供給所述壓印材料；以及

控制單元，該控制單元構造成執行控制，以便使得模具和由供給單元供給至偽板上的壓印材料相互接觸，并固化所述偽板上的壓印材料以便在偽板上形成所述壓印材料的圖案；

其中：當所述基體裝入壓印裝置時所述偽板與所述供給單元之間的距離比當所述基體裝入所述壓印裝置時所述基體與所述供給單元之間的距離短。

11.一種使用根據權利要求4至10中任意一項所述的壓印裝置制造物品的制造方法，包括：

通過使用壓印裝置在基體上形成壓印材料的圖案；以及

通過使用形成于基體上的壓印材料的圖案來加工基體。