[發(fā)明專利]柔性顯示基板及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410783129.4
• 申請日: 2014-12-16
• 公開（公告）號: CN104507266A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭瑞;徐磊;鄧亮;趙景訓(xùn);秦心宇;卜凡中
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H05K3/28
• 分類號: H05K3/28;C08L79/08
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性顯示基板及其制作方法。

背景技術(shù)

一般的柔性顯示基板主要采用聚酰亞胺作為襯底來制作，聚酰亞胺具有良好的熱性能、電性能等，但是，聚酰亞胺是一種熱塑性材料，熱膨脹系數(shù)較大，通常為10ppm/℃以上。此外，一般地，柔性顯示基板在硬性基板(通常為玻璃)上進(jìn)行制作，而玻璃的熱膨脹系數(shù)只有3.6ppm/℃。因此，在制作柔性顯示基板的過程中，由于聚酰亞胺和玻璃的熱膨脹系數(shù)相差較大，加溫過程會(huì)引起熱膨脹，而熱膨脹會(huì)引起應(yīng)力問題，從而容易導(dǎo)致柔性顯示基板翹曲，圖形偏移。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對如何改善柔性顯示基板翹曲和圖形偏移的問題，提出一種柔性顯示基板及其制作方法。

一種柔性顯示基板，包括襯底，所述襯底包括聚酰亞胺薄膜，所述聚酰亞胺薄膜摻雜有離子。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述離子為化學(xué)性質(zhì)不活潑離子。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述聚酰亞胺薄膜的表面的整面區(qū)域摻雜有離子。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述聚酰亞胺薄膜的表面的部分區(qū)域摻雜有離子，且所述摻雜有離子的區(qū)域?yàn)榫W(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明還提供一種柔性顯示基板的制作方法，所述方法包括步驟：

在硬性基板上制備一層聚酰亞胺薄膜；

通過離子注入的方法，將離子注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜；

在所述改性的聚酰亞胺薄膜上，制備顯示器件；

將所述改性的聚酰亞胺薄膜從所述硬性基板上剝離。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，在所述通過離子注入的方法，將離子注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜的步驟之前，通過成膜和刻蝕的方法，在所述聚酰亞胺薄膜上形成掩膜圖案。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，在所述通過離子注入的方法，將注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜的步驟之后，將所述掩膜圖案去除。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，形成所述掩膜圖案的材料為金屬材料。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述離子注入的注入能量的范圍為50千電子伏至50兆電子伏，所述離子注入的注入劑量的范圍為每平方厘米1.0×10¹²至1.0×10¹⁷個(gè)離子。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述離子為化學(xué)性質(zhì)不活潑離子。

上述柔性顯示基板及其制作方法，通過離子注入的方法，將離子注入到聚酰亞胺薄膜，對聚酰亞胺薄膜進(jìn)行改性，由于離子的注入，破壞聚酰亞胺薄膜原有的共價(jià)鍵，生成了新的芳香、烯烴、羧基和羥基基團(tuán)，從而提高聚酰亞胺薄膜的彈性模量，降低聚酰亞胺薄膜的熱膨脹系數(shù)，從而改善柔性顯示基板的翹曲問題和圖形偏移。

附圖說明

圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例柔性顯示基板的制作方法的流程示意圖；

圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例中離子注入到聚酰亞胺薄膜的表面的剖面示意圖；

圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例中離子注入到聚酰亞胺薄膜的表面后的平面示意圖；

圖4為本發(fā)明第二實(shí)施例柔性顯示基板的制作方法的流程示意圖；

圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例中離子注入到聚酰亞胺薄膜的表面的剖面示意圖；

圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例中離子注入到聚酰亞胺薄膜的表面后的平面示意圖。

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及取得的效果，下面結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對本發(fā)明的技術(shù)方案，進(jìn)行清楚和完整的描述。

如圖1、圖2和圖3所示，第一實(shí)施例的柔性顯示基板的制作方法包括如下步驟：首先，執(zhí)行S200，在硬性基板10上制備一層聚酰亞胺薄膜11。具體地，在本實(shí)施例中，硬性基板10為玻璃基板，通過涂布的方法，在硬性基板10制備一層聚酰亞胺薄膜11。