[發(fā)明專利]柔性顯示基板及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410783129.4
• 申請日: 2014-12-16
• 公開（公告）號: CN104507266A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設計）人: 郭瑞;徐磊;鄧亮;趙景訓;秦心宇;卜凡中
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H05K3/28
• 分類號: H05K3/28;C08L79/08
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種柔性顯示基板，包括襯底，所述襯底包括聚酰亞胺薄膜，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜摻雜有離子。

2.根據(jù)權利要求1所述的柔性顯示基板，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜的表面的整面區(qū)域摻雜有離子。

3.根據(jù)權利要求1所述的柔性顯示基板，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜的表面的部分區(qū)域摻雜有離子，且所述摻雜有離子的區(qū)域為網(wǎng)狀結構。

4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其特征在于，所述離子為化學性質不活潑離子。

5.一種柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括步驟：

在硬性基板上制備一層聚酰亞胺薄膜；

通過離子注入的方法，將離子注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜；

在所述改性的聚酰亞胺薄膜上，制備顯示器件；

將所述改性的聚酰亞胺薄膜從所述硬性基板上剝離。

6.根據(jù)權利要求5所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，在所述通過離子注入的方法，將離子注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜的步驟之前，通過成膜和刻蝕的方法，在所述聚酰亞胺薄膜上形成掩膜圖案。

7.根據(jù)權利要求6所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，在所述通過離子注入的方法，將離子注入到所述聚酰亞胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亞胺薄膜的步驟之后，將所述掩膜圖案去除。

8.根據(jù)權利要求7所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，形成所述掩膜圖案的材料為金屬材料。

9.根據(jù)權利要求5所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述離子注入的注入能量的范圍為50千電子伏至50兆電子伏，所述離子注入的注入劑量的范圍為每平方厘米1.0×10¹²至1.0×10¹⁷個離子。

10.根據(jù)權利要求5所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述離子為化學性質不活潑離子。