[發(fā)明專利]一種改善多晶硅酸制絨后硅片表面晶格發(fā)亮的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410779551.2 | 申請(qǐng)日: | 2014-12-17 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN105762223A | 公開(kāi)(公告)日: | 2016-07-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李祥 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江鴻禧能源股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 314205 浙江省嘉*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 改善 多晶 硅酸 制絨后 硅片 表面 晶格 發(fā)亮 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及多晶硅太陽(yáng)能電池片的制備領(lǐng)域,具體地涉及一種改善多晶硅酸制絨后硅片表面晶格發(fā)亮的方法。
背景技術(shù)
在多晶硅太陽(yáng)能電池片制備過(guò)程中,由于多晶硅片表面存在多種晶向,相鄰的兩種晶向交界處形成晶格缺陷,制絨藥液反應(yīng)時(shí)在該位置反應(yīng)相對(duì)劇烈,制絨后肉眼觀察存在可見(jiàn)的晶塊明暗相間比較明顯,即出現(xiàn)晶格發(fā)亮,導(dǎo)致外觀異常。同時(shí)由于反應(yīng)劇烈形成大的絨面形貌,導(dǎo)致鍍膜后片子發(fā)白異常。通常情況下,制絨過(guò)程中影響晶格發(fā)亮的主要因素有:酸性藥液中HNO3濃度過(guò)高或溫度過(guò)高、堿槽中堿液濃度過(guò)高或溫度過(guò)高、硅片表面的晶格缺陷數(shù)量較多,上述三種因素也存在疊加效應(yīng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種改善多晶硅酸制絨后硅片表面晶格發(fā)亮的方法,達(dá)到解決晶格發(fā)亮導(dǎo)致的外觀異常的目的。
本發(fā)明采用的技術(shù)解決方案是:一種改善多晶硅酸制絨后硅片表面晶格發(fā)亮的方法,即首先在多晶硅制絨工藝的堿槽中加入適量BDG(二乙二醇單丁醚),減緩硅片與堿溶液反應(yīng),所述的適量BDG的體積濃度為1±0.5%;然后將硅片依次經(jīng)過(guò)自動(dòng)上料、制絨槽、漂洗槽、堿洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、風(fēng)干工序。
本發(fā)明的有益效果是有效改善硅片表面晶格發(fā)亮的異常現(xiàn)象,降低外觀異常比例。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)本發(fā)明提供的技術(shù)解決方案作進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。
在本具體實(shí)施方式中,采用同一批次的156cm*156cm的多晶硅片為原材料進(jìn)行實(shí)驗(yàn),具體采用的實(shí)驗(yàn)方案如下所述:
實(shí)驗(yàn)方案1:采用傳統(tǒng)的酸制絨工藝,將原始多晶硅片依次經(jīng)過(guò)自動(dòng)上料、制絨槽、漂洗槽、堿洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、風(fēng)干工藝,觀察經(jīng)過(guò)制絨后的多晶硅片的外觀。
實(shí)驗(yàn)方案2:首先在多晶制絨設(shè)備的堿槽中加入體積濃度為1%的BDG溶液,然后將上述硅片依次經(jīng)過(guò)自動(dòng)上料、制絨槽、漂洗槽、堿洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、風(fēng)干工藝,觀察經(jīng)過(guò)制絨后的多晶硅片的外觀。
經(jīng)兩組實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果得出,采用本發(fā)明提供的技術(shù)方案進(jìn)行制絨后的硅片,與原實(shí)驗(yàn)方案相比,外觀異常比例降低0.5%。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江鴻禧能源股份有限公司,未經(jīng)浙江鴻禧能源股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410779551.2/2.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





