[發(fā)明專利]OGS觸摸屏用ITO薄膜生產(chǎn)方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410769648.5
• 申請日: 2014-12-15
• 公開（公告）號: CN104928623A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊忙;沈效龍;張國強(qiáng);黃永振
• 申請（專利權(quán)）人: 山東華芯富創(chuàng)電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34;C23C14/58
• 代理公司: 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 37218
• 代理人: 紀(jì)艷艷

1.一種OGS觸摸屏用ITO薄膜生產(chǎn)方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）低溫濺鍍：在高分子材料的基板表面上低溫濺鍍ITO薄膜層，濺鍍溫度為室溫~150℃；

（2）退火：將上述濺鍍好的基板在退火設(shè)備中進(jìn)行退火，退火溫度為180℃~250℃，退火處理時(shí)間為15-50分鐘。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述OGS觸摸屏用ITO薄膜生產(chǎn)方法，其特征在于：退火過程包括：大氣環(huán)境下將基板以5-20℃/min從室溫升溫到180℃~250℃的高溫，在高溫下保溫15-50分鐘，以自然冷卻降溫到室溫。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述OGS觸摸屏用ITO薄膜生產(chǎn)方法，其特征在于：退火設(shè)備為IR爐或烤箱。