[發(fā)明專利]一種貼干膜機(jī)及貼干膜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410766394.1
• 申請日: 2014-12-12
• 公開（公告）號: CN104465416B
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁萬春
• 申請（專利權(quán)）人: 通富微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44280
• 代理人: 何青瓦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種貼干膜機(jī)及貼干膜的方法。

背景技術(shù)

干膜貼膜時(shí)，先從干膜上剝下聚乙烯保護(hù)膜，然后在加熱加壓的條件下將干膜抗蝕劑粘貼在覆銅箔板上。干膜中的抗蝕劑層受熱后變軟，流動(dòng)性增加，借助于熱壓輥的壓力和抗蝕劑中粘結(jié)劑的作用完成貼膜。貼膜通常在貼膜機(jī)上完成，貼膜機(jī)型號繁多，但基本結(jié)構(gòu)大致相同。貼膜時(shí)影響貼膜效果的主要因素是壓力、溫度和傳送速度，而這三個(gè)因素都受貼膜時(shí)間的影響，因此控制貼膜時(shí)間對控制貼膜質(zhì)量影響至關(guān)重要。

目前，貼干膜機(jī)是由人工利用真空計(jì)和秒表進(jìn)行工藝過程時(shí)間的控制，如圖1所示，貼膜腔體內(nèi)設(shè)置真空計(jì)，工作時(shí)，真空泵抽貼膜腔體內(nèi)的空氣，真空計(jì)顯示值達(dá)到特定值時(shí)，人工利用秒表開始計(jì)時(shí)，并開啟貼膜開關(guān)開始貼膜，在貼計(jì)時(shí)達(dá)到設(shè)定時(shí)間，人工操作閉合貼膜開關(guān)。在實(shí)際貼干膜工藝中，為了進(jìn)行時(shí)間控制，需人工使用秒表計(jì)時(shí)，耗費(fèi)人力且人工計(jì)時(shí)誤差大，效果不好。

發(fā)明內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)中貼干膜工藝中時(shí)間控制存在的耗費(fèi)人力和偏差大的問題，本發(fā)明提供了一種貼干膜機(jī)及其貼膜方法。該貼干膜機(jī)包括真空壓力傳感器3、時(shí)間繼電器4，PLC7，所述真空壓力傳感器3設(shè)置在貼膜腔體5內(nèi)或者之上用于測量貼膜腔體5內(nèi)的氣壓，時(shí)間繼電器4由真空壓力傳感器3發(fā)出的信號來控制。

可選地，其還包括電磁開關(guān)閥1、貼膜腔體5、真空泵6，所述電磁開關(guān)閥1連接貼膜腔體5，用于控制貼膜腔體5的開和關(guān)；真空泵6與貼膜腔體5相連，用于對貼膜腔體5進(jìn)行抽真空。所述真空壓力傳感器3連接一輸入設(shè)備，通過該輸入設(shè)備來進(jìn)行壓力預(yù)設(shè)。進(jìn)一步，貼干膜機(jī)還包括控制模塊2，所述控制模塊2連接真空壓力傳感器3和時(shí)間繼電器4，用于控制真空壓力傳感器3和時(shí)間繼電器4的工作，電磁開關(guān)閥1與控制模塊2相連，由控制模塊2進(jìn)行控制開關(guān)。

工作時(shí)，真空泵6對貼膜腔體5抽真空，電磁開關(guān)閥1發(fā)出控制信號控制貼膜腔體5閉合；真空壓力傳感器3實(shí)時(shí)測量貼干膜機(jī)的貼膜腔體5內(nèi)的真空度，當(dāng)真空度達(dá)到特定值SP1時(shí)，真空壓力傳感器3將真空度信號SP1傳遞給PLC7和時(shí)間繼電器4，并且觸發(fā)時(shí)間繼電器4開始倒計(jì)時(shí)；PLC7接收到真空度信號SP1時(shí)，控制貼膜裝置開始貼膜；時(shí)間繼電器4倒計(jì)時(shí)結(jié)束時(shí)傳送信號T給PLC7；PLC7接收到信號T時(shí)，控制貼膜裝置結(jié)束貼膜，打開貼膜腔體5。

更為優(yōu)選地：所述貼干膜機(jī)還包括延遲器8，所述延遲器8位于時(shí)間繼電器4和PLC7之間，用于控制時(shí)間繼電器4的連通和斷開。當(dāng)真空度達(dá)到特定值SP1時(shí)，真空壓力傳感器3將真空度信號SP1傳遞給PLC7和延遲器8，延遲器8控制時(shí)間繼電器4電源的接通，從而觸發(fā)時(shí)間繼電器4開始倒計(jì)時(shí)。

更進(jìn)一步，所述貼干膜機(jī)還包括故障處理單元，所述故障處理單元與時(shí)間繼電器4連接，當(dāng)時(shí)間繼電器4出現(xiàn)故障時(shí)，轉(zhuǎn)為人工計(jì)時(shí)模式。所述貼干膜機(jī)還包括模式切換開關(guān)，用于人工掐表計(jì)時(shí)控制和時(shí)間繼電器4控制的切換。

本發(fā)明還提供了一種貼干膜的控制方法，包括如下步驟：對貼膜機(jī)的貼膜腔體抽真空；當(dāng)貼膜腔體內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的值SP1時(shí)，真空壓力傳感器將第一控制信號傳遞到PLC，PLC控制機(jī)臺開始貼膜；繼續(xù)對貼膜腔體抽真空，當(dāng)貼膜腔體真空度達(dá)到預(yù)定的值SP2時(shí)，真空壓力傳感器將第二控制信號傳遞到PLC，PLC控制機(jī)臺貼膜完畢，貼膜腔體打開。

本發(fā)明還提供了另一種貼干膜的方法，包括如下步驟：貼干膜機(jī)的貼膜腔體內(nèi)的真空度達(dá)到特定值SP1時(shí)，貼干膜機(jī)的貼膜腔體內(nèi)的真空壓力傳感器將真空度信號SP1傳遞給PLC和延遲器，PLC接收到信號SP1時(shí)，控制貼干膜機(jī)開始貼膜；延遲器收到SP1時(shí)觸發(fā)時(shí)間繼電器開始倒計(jì)時(shí)；時(shí)間繼電器倒計(jì)時(shí)結(jié)束時(shí)傳送信號T給PLC，PLC接收到信號T時(shí)，控制貼干膜機(jī)結(jié)束貼膜，打開貼膜腔體。

此外，本發(fā)明還提供了一種貼干膜機(jī)，包括有電磁閥，真空壓力傳感器，真空壓力傳感器將特定的真空度信號SP1傳遞給電磁閥，并觸動(dòng)電磁閥閉合，電磁閥接通時(shí)間控制繼電器的電源；所述電磁閥包括第一電磁閥和第二電磁閥，所述時(shí)間控制繼電器包括時(shí)間繼電器、延時(shí)繼電器；真空壓力傳感器同時(shí)將特定的空氣壓力信號傳遞給控制器和第二電磁閥；第一電磁閥設(shè)置在貼干膜機(jī)的貼膜腔體上，貼干膜機(jī)的真空泵抽真空時(shí)觸動(dòng)第一電磁閥關(guān)閉，第一電磁閥接通時(shí)間控制繼電器兩端的電源并控制貼膜腔體閉合；時(shí)間繼電器和延時(shí)繼電器串聯(lián)連接，時(shí)間繼電器的輸入端與控制器相連，當(dāng)時(shí)間繼電器達(dá)到設(shè)定結(jié)束時(shí)間時(shí)將信號傳輸給控制器和第二電磁閥，并觸發(fā)第二電磁閥閉合，第二電磁閥控制延時(shí)繼電器兩端接通電源。