[發(fā)明專利]一種M/MOx復合阻氫涂層及其制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410766229.6
• 申請日: 2014-12-11
• 公開（公告）號: CN105729934A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 張華;李帥;何迪;杜淼;郝雷;劉曉鵬;王樹茂;蔣利軍
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: B32B15/04
• 分類號: B32B15/04;B32B9/04;C23C14/34
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 程鳳儒

1.一種M/MO_x復合阻氫涂層，其結構為：不銹鋼基體/金屬過渡層(M)/氧化物阻氫涂層(MO_x)。

2.根據(jù)權利要求1所述的M/MO_x復合阻氫涂層，其特征在于，所述基體包括奧氏體不銹鋼和馬氏體不銹鋼中的任意一種不銹鋼。

3.根據(jù)權利要求1所述的M/MO_x復合阻氫涂層，其特征在于，所述金屬過渡層M包括Al、Zr、Er、Y、Cr、Mn和Fe金屬中的任意一種或多種混合金屬，厚度為20nm～2μm。

4.根據(jù)權利要求1所述的M/MO_x復合阻氫涂層，其特征在于，所述氧化物阻氫涂層MO_x為Al₂O₃、ZrO₂、Er₂O₃、Y₂O₃、Cr₂O₃、MnO和Fe₂O₃中的任意一種或多種混合，厚度為40nm～2um。

5.根據(jù)權利要求1所述的M/MO_x復合阻氫涂層，其特征在于，M/MO_x復合涂層是采用同一靶材原位制備，即，在所述的M/MO_x復合阻氫涂層中，金屬M為Al、Zr、Er、Y、Cr、Mn和Fe金屬中的任意一種，阻氫氧化物MO_x為上述相對應的金屬中的金屬氧化物。

6.根據(jù)權利要求3和4所述的M/MO_x復合阻氫涂層的制備方法，其特征在于，是在不銹鋼基體上采用常規(guī)的濺射設備并采用反應濺射結合負偏壓技術制備所述過渡層和阻氫涂層，包括以下步驟：

(1)基片清洗：將不銹鋼基體在丙酮和酒精中超聲5～30min后，放入真空腔體；

(2)偏壓清洗：待真空度優(yōu)于8×10^-3Pa后，通入Ar氣，氣壓0.4～5Pa，偏壓為-50～-800V，清洗時間5～30min；

(3)過渡層制備：靶材為金屬靶，金屬為Al、Zr、Er、Y、Cr、Mn和Fe金屬中的任意一種或多種混合金屬，Ar氣壓0.2～3Pa，濺射功率500～8000W，偏壓為0～-800V；

(4)阻氫涂層原位制備：Ar/O₂流量比為10/1～10/5，氣壓0.2～3Pa，濺射功率500～8000W，偏壓為0～-800V。

7.根據(jù)權利要求5所述的M/MO_x復合阻氫涂層的制備方法，其特征在于，所述反應濺射采用直流濺射、射頻濺射、中頻濺射或離子束濺射。

8.根據(jù)權利要求5所述的M/MO_x復合阻氫涂層的制備方法，其特征在于，M/MO_x復合涂層是采用同一靶材原位制備，金屬M為Al、Zr、Er、Y、Cr、Mn和Fe金屬中的任意一種，氧化物阻氫MO_x為上述相對應的金屬中的金屬爭化物。