[發明專利]金屬有機化學氣相沉積裝置及使用該裝置的方法

有效

• 申請號: 201410763795.1
• 申請日: 2014-12-11
• 公開（公告）號: CN105734524B
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發明（設計）人: 李帥;劉曉鵬;何迪;于慶河;雷洋;張華;張超;呂琴麗;吳云翼;王樹茂
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: C23C16/18
• 分類號: C23C16/18;C23C16/46
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 程鳳儒

1.一種金屬有機化學氣相沉積裝置，其特征在于，包括：用于金屬管件加熱的電控系統和溫控系統；與金屬管件兩端相連接的導電夾具；在金屬管件上包有用于保溫的保溫層；與金屬管件一端相連的金屬有機源導入通路，該金屬有機源導入通路是由儲氣罐連接有機源揮發室、質量流量計以及在有機源揮發室外的具有加熱作用的金屬有機源加熱組件所組成，金屬管件一端連接用于有機源揮發室溫度測試的外表面熱電偶，溫控系統的一端連接該外表面熱電偶；與金屬管件另一端相連接的由機械泵、真空計構成的真空抽氣系統；金屬管件另一端連接用于金屬管件溫度測試的外表面熱電偶，溫控系統的另一端連接該外表面熱電偶；所述金屬管件兩端分別與密封件電絕緣連接；在機械泵抽真空狀態下，在金屬管件腔體內形成真空狀態；所述導電夾具與金屬管件外表面緊密接觸。

2.根據權利要求1所述的金屬有機化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述電控系統具有輸出電流調節裝置。

3.一種使用權利要求1所述裝置的金屬有機化學氣相沉積方法，其特征在于，通過對金屬管件通電使管件自身發熱以獲得指定的沉積溫度，達到薄膜沉積的目的，具體步驟如下：

1)將金屬管件安裝于金屬有機化學氣相沉積裝置上，金屬管件兩端與導電夾具相連接；

2)金屬管件一端與金屬有機源導入通路相接，另一端與真空抽氣系統相連接；

3)金屬管件兩端由端部腔體實現真空密封，并通過真空抽氣系統對金屬管件腔體進行抽真空；

4)在真空壓強達到10-500Pa時，通過導電夾具對金屬管件加高電流實現加熱，通過電源控制系統調整兩端電流，使金屬管件溫度控制在300-500℃之間；

5)通入載氣，加熱金屬有機源，開始薄膜沉積，沉積過程金屬管件溫度保持在300-500℃，保溫指定時間后，關閉載氣，關閉電控系統和溫控系統，完成薄膜沉積。

4.根據權利要求3所述的金屬有機化學氣相沉積方法，其特征在于，所述步驟5)中，載氣為H₂、Ar、N₂、H₂O中的一種或幾種混合。