[發明專利]帶有真空裝置的簡易封裝設備在審
| 申請號： | 201410760836.1 | 申請日： | 2014-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN105789417A | 公開（公告）日： | 2016-07-20 |
| 發明（設計）人： | 趙少華;張志勇;趙鎖義;趙煒 | 申請（專利權）人： | 西安寶萊特光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/56 | 分類號： | H01L33/56 |
| 代理公司： | 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710075 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶有 真空 裝置 簡易 封裝 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶有真空裝置的簡易封裝設備，其特征在于：主要包括相互扣合形成模腔的上模和下模，所述上模上通過第一抽真空裝置固定有蓋片，所述下模上固定有基片，所述蓋片與所述基片位于所述模腔內，所述模腔上連通第二抽真空裝置。
2.根據權利要求1所述的帶有真空裝置的簡易封裝設備，其特征在于：所述上模包括第一基座，所述第一基座由相對設置的第一面和第二面通過側邊圍設而成，所述第一基座由其側邊向其內部開設有真空管路。
3.根據權利要求1所述的帶有真空裝置的簡易封裝設備，其特征在于：所述基座上設有吸孔，所述吸孔連通所述真空管道和模腔。
4.根據權利要求1所述的帶有真空裝置的簡易封裝設備，其特征在于：所述真空管路橫向設置，所述吸孔豎向設置。
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