[發(fā)明專利]一種可實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定拋光的拋光液

在審

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• 申請日: 2014-12-10
• 公開（公告）號: CN104650740A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘國順;陳高攀;顧忠華;羅桂海;龔樺
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市力合材料有限公司;清華大學(xué);深圳清華大學(xué)研究院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44311
• 代理人: 哈達(dá)

1.一種可實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定拋光的拋光液，其特征在于，所述的拋光液包含：

5-20wt％的納米級磨料，所述的磨料選自膠體二氧化硅顆粒；

1-10wt％的堿性腐蝕劑；

5-10wt％的鹽，所述的鹽選自水溶性鈉鹽、鉀鹽或銨鹽；

0.01-1wt％的穩(wěn)定劑；

去離子水余量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于，所述膠體二氧化硅顆粒粒徑分布范圍為40-80nm，其平均粒徑為55nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于，所述堿性腐蝕劑為氫氧化鉀、氫氧化鈉、氨、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、吡啶、哌嗪、咪唑、雙胍、四甲基胍中的一種或幾種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于，所述水溶性鈉鹽、鉀鹽或銨鹽的陰離子包括氯、氟、溴、碘、氯酸、次氯酸、溴酸、次溴酸、硫酸、亞硫酸、硫代硫酸、硝酸、亞硝酸、磷酸、硼酸、碳酸及其酸式鹽中的一種或幾種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于，所述水溶性鈉鹽為氯化鈉、氟化鈉、溴化鈉、碘化鈉、氯酸鈉、次氯酸鈉、溴酸鈉、次溴酸鈉、硫酸鈉、硫酸氫鈉、亞硫酸鈉、亞硫酸氫鈉、硫代硫酸鈉、硝酸鈉、亞硝酸鈉、磷酸鈉、磷酸氫鈉、磷酸二氫鈉、硼酸鈉、硼酸氫鈉、碳酸鈉、碳酸氫鈉中的至少一種；所述水溶性鉀鹽為氯化鉀、氟化鉀、溴化鉀、碘化鉀、氯酸鉀、次氯酸鉀、溴酸鉀、次溴酸鉀、硫酸鉀、硫酸氫鉀、亞硫酸鉀、亞硫酸氫鉀、硫代硫酸鉀、硝酸鉀、亞硝酸鉀、磷酸鉀、磷酸氫鉀、磷酸二氫鉀、硼酸鉀、硼酸氫鉀、碳酸鉀、碳酸氫鉀中的至少一種；所述水溶性銨鹽包括氯化銨、氟化銨、溴化銨、碘化銨、氯酸銨、次氯酸銨、溴酸銨、次溴酸銨、硫酸銨、硫酸氫銨、亞硫酸銨、亞硫酸氫銨、硫代硫酸銨、硝酸銨、亞硝酸銨、磷酸銨、磷酸氫銨、磷酸二氫銨、硼酸銨、硼酸氫銨、碳酸銨、碳酸氫銨中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于，所述穩(wěn)定劑選自一類主鏈為聚醚結(jié)構(gòu)，末端活性官能團(tuán)為胺基的聚醚胺；所述穩(wěn)定劑分子量小于10000。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光液，其特征在于，所述聚醚胺有單胺、二胺、三胺、仲胺、位阻胺和聚四亞甲基乙二醇基的聚醚胺。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光液，其特征在于，所述單胺系列是由單醇引發(fā)劑與環(huán)氧丙烷或環(huán)氧乙烷反應(yīng)，再將反應(yīng)產(chǎn)物端羥基轉(zhuǎn)化為胺基得到，型號有M-600、M-1000、M-2005、M-2070；所述二胺系列包括D系列、ED系列，EDR系列，包括D-230、D-400、D-2000、D-4000、ED-600、ED-900、ED-2003、EDR-104、EDR-148、EDR-176；所述三胺系列由三醇引發(fā)劑與環(huán)氧丙烷反應(yīng)后經(jīng)胺基化端羥基得到的三元胺，包括T-403、T-3000、T-5000；所述的仲胺系列是由端胺基與酮類反應(yīng)得到的具有空間位阻的仲胺，包括SD-231、SD-401、SD-2001、ST-404；SD代表二元仲胺，ST代表三元仲胺；所述的聚四亞甲基乙二醇基聚醚胺包括XTJ-542、XTJ-548、XTJ-559。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的拋光液，其特征在于，所述拋光液的pH值為9-12。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-8項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的拋光液，其特征在于，所述拋光液電導(dǎo)率大于30ms/cm。