[發明專利]一種制備納米Ti02薄膜的方法

在審

• 申請號: 201410754254.2
• 申請日: 2014-12-11
• 公開（公告）號: CN104649587A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 周宏
• 申請（專利權）人: 周宏
• 主分類號: C03C17/23
• 分類號: C03C17/23
• 代理公司: 西安億諾專利代理有限公司61220
• 代理人: 賈苗苗

技術領域

????本發明涉及半導體材料制備技術領域，具體涉及一種利用溶膠-凝膠法制備納米Ti0₂薄膜的方法。

背景技術

????納米Ti0₂是一種典型半導體材料，其獨特光催化性，優異顏色效應及紫外線屏蔽功能，在太陽能儲存與利用、光化學轉換有機污染物、去除有害無機氣體殺苗和凈化空氣、抗紫外線吸收劑、功能陶瓷、軍事

及氣敏傳感器件等方面具有廣闊應用前景。

發明內容

本發明旨在提出一種利用溶膠-凝膠法制備納米Ti0₂薄膜的方法。

本發明的技術方案在于：

????一種制備納米Ti0₂薄膜的方法，采用如下步驟：

（1）制備前驅液：用離子水和乙醇超聲清洗玻片，放于干燥皿備用；在室溫25℃左右，濕度55％下；以25mmx75mm玻片為基體，純度98％的鈦酸丁脂為先驅體，99.7％二乙醇胺為絡合劑、99.7％無水乙醇為溶劑；將Ti(OC₄H₉)₄和螯合劑二乙醇胺以4：1比例同時滴加到無水乙醇燒杯中，攪拌2h，45℃恒溫，得到均勻透明淡黃色前驅液。

（2）制備Ti0₂溶膠：將2ml蒸餾水和10ml無水乙醇配成混合溶液，攪拌中滴加1m1?HN0₃至pH值為3的溶液滴加液，將滴加液以1～2滴/s速率滴加到前驅液中，成均勻透明淡黃色Ti0₂溶膠，攪拌0.5h，放置陳化12h待用。

（3）制備多層薄膜：用機械式提升機將玻片浸漬Ti0₂溶膠中，浸泡一定時間后，以1.98?mm/s的速度提升玻片，并放入溫度為100℃的烘箱中干燥5min，其發生水解反應、縮聚反應，在玻片上形成凝膠，在無塵空氣中冷卻5min，制備多層薄膜。

（4）鍍完所以膜后，將玻片在100℃下干燥30min。

（5）在馬弗爐中以3℃/min-4℃／min速度升溫至540℃，保溫1h。

（6）在爐內自然冷卻至室溫，即可得到納米Ti0₂薄膜。

本發明的技術效果在于：

????本發明方法簡單，易于操作，通過本發明提供的方法獲得的納米Ti0₂薄膜，薄膜表面光滑，顆粒較均勻且達到納米級顆粒。

具體實施方式

????一種制備納米Ti0₂薄膜的方法，采用如下步驟：

（1）制備前驅液：用離子水和乙醇超聲清洗玻片，放于干燥皿備用；在室溫25℃左右，濕度55％下；以25mmx75mm玻片為基體，純度98％的鈦酸丁脂為先驅體，99.7％二乙醇胺為絡合劑、99.7％無水乙醇為溶劑；將Ti(OC₄H₉)₄和螯合劑二乙醇胺以4：1比例同時滴加到無水乙醇燒杯中，攪拌2h，45℃恒溫，得到均勻透明淡黃色前驅液。

（2）制備Ti0₂溶膠：將2ml蒸餾水和10ml無水乙醇配成混合溶液，攪拌中滴加1m1?HN0₃至pH值為3的溶液滴加液，將滴加液以1～2滴/s速率滴加到前驅液中，成均勻透明淡黃色Ti0₂溶膠，攪拌0.5h，放置陳化12h待用。

（3）制備多層薄膜：用機械式提升機將玻片浸漬Ti0₂溶膠中，浸泡一定時間后，以1.98?mm/s的速度提升玻片，并放入溫度為100℃的烘箱中干燥5min，其發生水解反應、縮聚反應，在玻片上形成凝膠，在無塵空氣中冷卻5min，制備多層薄膜。

（4）鍍完所以膜后，將玻片在100℃下干燥30min。

（5）在馬弗爐中以3℃/min-4℃／min速度升溫至540℃，保溫1h。

（6）在爐內自然冷卻至室溫，即可得到納米Ti0₂薄膜。