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[發(fā)明專利]一種制備納米Ti02薄膜的方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410754254.2 申請日: 2014-12-11
公開(公告)號: CN104649587A 公開(公告)日: 2015-05-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 周宏 申請(專利權(quán))人: 周宏
主分類號: C03C17/23 分類號: C03C17/23
代理公司: 西安億諾專利代理有限公司61220 代理人: 賈苗苗
地址: 710000陜西省*** 國省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 制備 納米 ti02 薄膜 方法
【權(quán)利要求書】:

1.?一種制備納米Ti02薄膜的方法,其特征在于:采用如下步驟:

(1)制備前驅(qū)液:用離子水和乙醇超聲清洗玻片,放于干燥皿備用;在室溫25℃左右,濕度55%下;以25mmx75mm玻片為基體,純度98%的鈦酸丁脂為先驅(qū)體,99.7%二乙醇胺為絡(luò)合劑、99.7%無水乙醇為溶劑;將Ti(OC4H9)4和螯合劑二乙醇胺以4:1比例同時(shí)滴加到無水乙醇燒杯中,攪拌2h,45℃恒溫,得到均勻透明淡黃色前驅(qū)液;

(2)制備Ti02溶膠:將2ml蒸餾水和10ml無水乙醇配成混合溶液,攪拌中滴加1m1?HN03至pH值為3的溶液滴加液,將滴加液以1~2滴/s速率滴加到前驅(qū)液中,成均勻透明淡黃色Ti02溶膠,攪拌0.5h,放置陳化12h待用;

(3)制備多層薄膜:用機(jī)械式提升機(jī)將玻片浸漬Ti02溶膠中,浸泡一定時(shí)間后,以1.98?mm/s的速度提升玻片,并放入溫度為100℃的烘箱中干燥5min,其發(fā)生水解反應(yīng)、縮聚反應(yīng),在玻片上形成凝膠,在無塵空氣中冷卻5min,制備多層薄膜;

(4)鍍完所以膜后,將玻片在100℃下干燥30min;

(5)在馬弗爐中以3℃/min-4℃/min速度升溫至540℃,保溫1h;

(6)在爐內(nèi)自然冷卻至室溫,即可得到納米Ti02薄膜。

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