[發明專利]一種熱解碳涂層的制備方法

有效

• 申請號: 201410737351.0
• 申請日: 2014-12-05
• 公開（公告）號: CN104561924B
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 林前鋒
• 申請（專利權）人: 林榮銓
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 任重;馮振寧

1.一種熱解碳涂層的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)提供一種具有爐體的化學氣相沉積爐，爐體內貫穿設置有剛玉管，剛玉管的進氣端端面上設有圓孔供鎢棒插入，鎢棒的另一端連接石墨柱，石墨柱朝向剛玉管的出氣端用于粘貼石墨基體；

(2)將石墨基體浸沒在先驅體溶液中，其中先驅體溶液為SR249和xylene按照體積比為(0.3～1.0):1配置而成；

(3)將石墨基體浸漬24h后取出，將其懸空設置于剛玉管的中間部分；

(4)向剛玉管中通入氬氣，通入氬氣之前先用氣體流量計對氬氣管路中的氣體進行清洗，清洗時間為8～15min；在清洗氬氣管路之后利用氣體流量計控制氬氣的流速為160～190ml/min；并將爐體升溫速度為9～10℃/min，升溫至1100～1250℃；

(5)繼續通入氬氣，并通入甲烷50-150min，設置甲烷和氬氣的質量比為(800～1000)：(275～350)；

(6)關閉甲烷，繼續保持通入氬氣，氬氣的流速為160～190ml/min使得石墨基體隨爐冷卻至室溫，從而在石墨基體上得到熱解碳涂層。