[發明專利]玻璃基板的檢測裝置和方法

在審

• 申請號: 201410736482.7
• 申請日: 2014-12-05
• 公開（公告）號: CN104458767A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 施文峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

技術領域

本發明涉及顯示技術玻璃基板檢測領域，特別是涉及顯示屏體生產過程中用于自動光學檢測玻璃基板的方法和裝置。

背景技術

在生產顯示屏玻璃基板后，為了檢測其是否存在缺陷，一般情況下，我們會通過自動光學檢測玻璃基板的方法，利用玻璃基板的反射特性，根據對反射光的采集和分析以檢測其缺陷。

傳統的自動光學檢測玻璃基板的方法，為采用正光源，即從玻璃基板上方往玻璃基板投射光線，依靠基板以及圖案材料本身與各種缺陷材料對光源的反射率的差異，感應并檢測到各種缺陷。但是在實際應用中，一些類型缺陷與實際需要的圖案，或者與基板本身對光的反射率水平接近，導致不能有效檢出此類缺陷。

為了能夠檢測出這些類型缺陷，通常的方法是，選擇不同顏色的光源以增強反射率落差，以實現缺陷的檢測。但是這種方法往往會顧此失彼，因為改變光源顏色，增強了某種缺陷的反射率落差，卻可能與其他缺陷的反射率水平接近，導致檢測出了某個缺陷，而漏了另外一些缺陷，難以平衡，很難同時檢驗出多種缺陷，因而需要多次改變光源顏色，步驟復雜。

發明內容

基于此，有必要針對上述問題，提供一種玻璃基板檢測裝置和一種玻璃基板檢測方法，提高檢測效率。

一種玻璃基板的檢測裝置，包括基座，所述基座用于放置玻璃基板；

光源組件，所述光源組件包括第一光源和第二光源，所述第一光源位于基座上方，所述第一光源自所述玻璃基板的上方朝所述玻璃基板發出光線，所述第二光源位于基座下方，所述第二光源自所述玻璃基板的下方朝所述玻璃基板發出光線；

接收組件，用于接收所述第一光源照射在所述玻璃基板上的反射光以及所述第二光源照射在所述玻璃基板上的透射光；

調節組件，與所述光源組件連接，用于調節所述第一光源和所述第二光源的發光強度、角度或顏色；

檢測組件，與所述接收組件及所述調節組件連接，用于根據所述調節組件設置的光源信息對所述接收組件接收的所述反射光和所述透射光對所述玻璃基板進行檢測。

在其中一個實施例中，所述調節組件和所述接收組件連接，所述調節組件用于調節所述接收組件的位置角度以接收所述光源組件發出的光線。

在其中一個實施例中，所述第一光源和所述第二光源為光源組，所述光源組由多個光源組成。

在其中一個實施例中，所述接收組件為一個CCD(Charge-coupled?Device,感光耦合組件)，所述CCD(Charge-coupled?Device,感光耦合組件)同時采集所述第一光源的反射光和所述第二光源的透射光。

在其中一個實施例中，所述接收組件包括第一接收組件和第二接收組件，所述第一接收組件用于接收所述第一光源的反射光，所述第二接收組件用于接收所述第二光源的透射光。

在其中一個實施例中，所述第一接收組件和所述第二接收組件為CCD(Charge-coupled?Device,感光耦合組件)組，所述CCD(Charge-coupled?Device,感光耦合組件)組由多個CCD(Charge-coupled?Device,感光耦合組件)組成。

一種玻璃基板檢測方法，包括以下步驟：

將待檢測的玻璃基板置于第一光源和第二光源之間；其中，所述第一光源自所述玻璃基板的上方朝所述玻璃基板發出光線，所述第二光源自所述玻璃基板的下方朝所述玻璃基板發出光線；

調節所述第一光源和所述第二光源的發光強度、角度或顏色，并接收所述第一光源照射在所述玻璃基板上的反射光以及所述第二光源照射在所述玻璃基板上的透射光；

根據接收的所述反射光和所述透射光對所述玻璃基板進行檢測。

在其中一個實施例中，所述第一光源為主光源，所述第二光源為輔助光源；或者所述第二光源為主光源，所述第一光源為輔助光源。

在其中一個實施例中，所述第一光源和所述第二光源可以獨立使用。

在其中一個實施例中，所述第一光源和所述第二光源可以分時段同時使用。

上述玻璃基板檢測裝置，提供了一種適用于多光源檢測玻璃基板的裝置，能夠同時利用折射率和透射率，使得檢測更加靈活，提高缺陷的檢出率，并且能夠縮短檢測時間，提高檢測效率。

上述玻璃基板檢測方法，不僅利用玻璃基板以及圖案材料本身與各種缺陷材料對光源的反射率的差異，還利用其各自對光源折射率的差異，并且通過分別調節第一光源和第二光源的發光強度、角度或顏色，快速準確地檢測出多種缺陷，從而能夠提高缺陷的檢出率，也提高了檢測的靈活性。

附圖說明