[發明專利]一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置及應用方法

在審

• 申請號: 201410736254.X
• 申請日: 2014-11-29
• 公開（公告）號: CN104404465A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發明（設計）人: 王戀貴;董安光;譚華;秦遵紅
• 申請（專利權）人: 洛陽康耀電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08
• 代理公司: 暫無信息
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技術領域

本發明涉及磁力傳動技術領域，尤其是一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置及應用方法。

背景技術

目前，在真空磁控濺射鍍膜設備中，裝載玻璃的基片架小車傳動要求平穩，加減速良好，并且和真空腔體之間有著良好的絕緣。在國產或進口設備中，早期的設備比較普遍的采用的是齒輪傳動，小車直接和導軌接觸。在經過緩沖腔室的時候，導輪和導軌之間的距離、垂直度、平行度、傳動精度很難調整，并且直接接觸形成摩擦致齒輪齒條、導軌和小車滑動輪都容易磨損。小車在運行過程中平穩性很差，前進方式是通過齒輪和齒條硬接觸，沒有減震，運行時容易抖動，震動。另外當軌道發生偏斜時小車易脫軌，導致小車撞壞其他腔體內部的設備部件，造成比較嚴重的后果。小車在靶材濺射區域直接和腔體連接，沒有形成絕緣隔離，造成靶材在濺射過程中容易打弧、跳靶，影響設備的穩定性。造成生產產品合格率低下，產品質量較差。

鑒于上述原因，現有的真空磁控濺射鍍膜傳動裝置的結構需要改進。

發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置及應用方法，結構簡單，設計合理，操作方便，制造成本低，運行效果顯著，提高了工作效率，提升了產品質量，適用于真空磁控濺射鍍膜設備連續基片流，提升了小車在真空室內運行的平穩性能、加減速性能、絕緣性能、顯著提高了生產產品的質量、提高生產產量、合格率，對優化工藝有著明顯的改善，有效降低了設備的故障率，在真空磁控鍍膜設備中屬于高端設備的技術改革。

本發明為了實現上述目的，采用如下技術方案：一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置及應用方法，是由：車體、上絕緣塊、一號磁靴、倒U形磁鐵護套、強磁N極、下絕緣座、傳動導向桿、傳動系統傳動輪、T形磁鐵護套、強磁S極、二號磁靴、螺釘構成；車體上方設置至少五個上絕緣塊，下方設置至少五個下絕緣座，上絕緣塊的上方與倒U形磁鐵護套之間設置一號磁靴，倒U形磁鐵護套內設置強磁N極，下絕緣座下方設置傳動導向桿，傳動導向桿下方與傳動系統傳動輪對應設置；倒U形磁鐵護套上方設置T形磁鐵護套，T形磁鐵護套與倒U形磁鐵護套之間預留磁場作用空間，T形磁鐵護套內設置強磁S極，T形磁鐵護套上方設置二號磁靴，T形磁鐵護套通過螺釘固定在二號磁靴上，二號磁靴設置在真空腔室頂部。

所述的上絕緣塊的剖面為H形，上絕緣塊的上下方分別構成上卡槽與下卡槽，下卡槽與車體上方對應設置，上卡槽與一號磁靴的下方對應設置。

所述的T形磁鐵護套內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁S極；倒U形磁鐵護套內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁N極，倒U形磁鐵護套內的強磁N極與一號磁靴的上方對應設置。

所述的下絕緣座的上方設置上卡槽，下方設置弧形凹槽，上卡槽與車體下方對應設置，弧形凹槽與傳動導向桿對應設置。

所述的T形磁鐵護套與倒U形磁鐵護套位于同一垂直線上。

所述的T形磁鐵護套內的強磁S極垂直于二號磁靴。

所述的強磁N極采用3200-4500高斯的釤鈷磁鐵，強磁S極采用3800-5000高斯的釤鈷磁鐵。

車體上下方的上絕緣塊和下絕緣座使車體與真空室絕緣達到與陰、陽極絕緣，T形磁鐵護套內的強磁S極與倒U形磁鐵護套內的強磁N極產生相互的吸引力，使車體向上處于懸浮狀態，同時，強磁S極和強磁N極的磁鐵頑校力相抵消后，使強磁S極和強磁N極避免吸在一起，傳動導向桿與傳動系統傳動輪摩擦接觸，摩擦力為車體的重力減去向上的吸力，車體隨著傳動系統傳動輪的轉動向前平穩運行。

啟動運行ITO膜連續性真空磁控濺射鍍膜設備，將連續性真空磁控濺射鍍膜設備室內抽真空，使本底真空度為5×10-4Pa-6.8×10-4Pa，通入濺射氣體氬氣Ar和作為補充成分的氧氣O2；在真空的條件下，在車體的ITO薄膜安裝區裝載至少一塊矩形靶材，采用由3-10％SnO2和90％-97％In2O3組成的粉末經熱、靜壓燒結的陶瓷靶材，控制真空室墻體溫控加熱裝置和真空室溫控門對靶材均勻加熱，調節基板襯底預熱溫度，整版均勻達到50℃-200℃，預備在清潔的玻璃基片上沉積ITO薄膜；