[發(fā)明專(zhuān)利]控制閥模塊與測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410735393.0
• 申請(qǐng)日: 2014-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105719987B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐嘉修;陳啟祥;郭瑞儀;黃文達(dá)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 力晶科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種控制閥模塊，包括：

載座；

連通管，設(shè)置于該載座上；

閥箱，連接該連通管，用以導(dǎo)通或阻斷該連通管，其中該連通管位于該載座與該閥箱之間；以及

固定結(jié)構(gòu)，包括：

框架，固定該閥箱與該連通管于該載座上；以及

壓力感測(cè)元件，連接該框架并與該閥箱相抵接，其中該閥箱位于該連通管與該壓力感測(cè)元件之間，

其中在該框架固定該閥箱與該連通管于該載座時(shí)，該框架施加一預(yù)力于該壓力感測(cè)元件而使該壓力感測(cè)元件所測(cè)得的一壓力值為定值。

2.如權(quán)利要求1所述的控制閥模塊，還包括：

傳輸線，電性耦接該壓力感測(cè)元件。

3.如權(quán)利要求1所述的控制閥模塊，其中在該框架固定該閥箱與該連通管于該載座時(shí)，該框架施加一預(yù)力于該壓力感測(cè)元件，且在一流體通過(guò)該連通管時(shí)，該連通管通過(guò)該閥箱以施加一作用力于該壓力感測(cè)元件上，使該壓力感測(cè)元件所測(cè)得的一壓力值反應(yīng)出相消減后的該預(yù)力與該作用力，且該壓力值為定值。

4.如權(quán)利要求1所述的控制閥模塊，其中該閥箱具有一控制閥，用以導(dǎo)通或阻斷該連通管。

5.一種測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)，包括：

至少一控制閥模塊，包括：

載座；

連通管，設(shè)置于該載座上；

閥箱，連接該連通管，用以導(dǎo)通或阻斷該連通管，其中該連通管位于該載座與該閥箱之間；以及

固定結(jié)構(gòu)，包括：

框架，固定該閥箱與該連通管于該載座上；以及

壓力感測(cè)元件，連接該框架并與該閥箱相抵接，其中該閥箱位于該連通管與該壓力感測(cè)元件之間；

流體供應(yīng)單元，連接該連通管；以及

中控單元，電性耦接該流體供應(yīng)單元，以控制該流體供應(yīng)單元輸送或停止輸送一流體至該連通管，

其中在該框架固定該閥箱與該連通管于該載座時(shí)，該框架施加一預(yù)力于該壓力感測(cè)元件而使該壓力感測(cè)元件所測(cè)得的一壓力值為定值。

6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)，還包括：

中繼單元，電性耦接該壓力感測(cè)元件與該中控單元，該中繼單元適于接收接該壓力感測(cè)元件所測(cè)得的一壓力值以回傳至該中控單元。

7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)，其中該控制閥模塊還包括：

傳輸線，電性耦接該壓力感測(cè)元件與該中繼單元。

8.如權(quán)利要求6所述的測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)，其中該閥箱具有一控制閥，該中控單元適于通過(guò)該中繼單元以控制該控制閥導(dǎo)通或阻斷該連通管。

9.如權(quán)利要求5所述的測(cè)漏監(jiān)控系統(tǒng)，其中在該框架固定該閥箱與該連通管于該載座時(shí)，該框架施加一預(yù)力于該壓力感測(cè)元件，且在一流體通過(guò)該連通管時(shí)，該連通管通過(guò)該閥箱以施加一作用力于該壓力感測(cè)元件上，使該壓力感測(cè)元件所測(cè)得的一壓力值反應(yīng)出相消減后的該預(yù)力與該作用力，且該壓力值為定值。