[發(fā)明專(zhuān)利]一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410735183.1
• 申請(qǐng)日: 2014-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104391433A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周偉;趙永冬;徐立銘;謝金濤;黃林;姚亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/26
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/26
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種噴淋系統(tǒng)，包括具有多個(gè)噴頭的多個(gè)級(jí)聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中所述控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制所述噴淋液供給系統(tǒng)對(duì)被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋系統(tǒng)工作階段結(jié)束后控制所述噴淋液回收系統(tǒng)對(duì)噴淋液進(jìn)行回收，其特征在于，還包括：

清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在所述控制系統(tǒng)的控制下，對(duì)各所述噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；

廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在所述控制系統(tǒng)的控制下，對(duì)清洗后的廢液進(jìn)行排放。

2.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)包括：清洗液供給裝置、清洗液循環(huán)池、連通所述清洗液供給裝置和所述清洗液循環(huán)池之間的供液管路、連通所述清洗液循環(huán)池和末級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭之間的進(jìn)液管路、一端位于首級(jí)噴淋構(gòu)件下方另一端連接所述清洗液循環(huán)池的回液管路、動(dòng)力構(gòu)件、以及與所述噴淋液供給系統(tǒng)共用的噴淋液循環(huán)槽和噴淋液進(jìn)液管路；其中，

所述清洗液供給裝置用于：在清洗階段通過(guò)所述供液管路輸送清洗液到所述清洗液循環(huán)池；

所述清洗液循環(huán)池用于：在清洗階段通過(guò)所述進(jìn)液管路在動(dòng)力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到所述末級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭，以及接收清洗后的廢液；

在清洗階段，除首級(jí)噴淋構(gòu)件之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽還用于：通過(guò)連通本級(jí)噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽和上一級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路在動(dòng)力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到上一級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭；

所述回液管路用于：輸送清洗后的廢液到所述清洗液循環(huán)池。

3.如權(quán)利要求2所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述清洗液循環(huán)池中的液位監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：用于監(jiān)測(cè)所述清洗液循環(huán)池中清洗液的液位高度。

4.如權(quán)利要求2所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括：連通所述清洗液供給裝置和所述末級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭之間的直通供液管路，以及連通所述清洗液供給裝置和各所述噴淋液循環(huán)槽之間的分支供液管路；其中，

在清洗階段，所述清洗液供給裝置還用于：通過(guò)所述直通供液管路輸送清洗液到所述末級(jí)噴淋構(gòu)件的噴頭；以及通過(guò)所述分支供液管路輸送清洗液到各噴淋液循環(huán)槽。

5.如權(quán)利要求4所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理系統(tǒng)包括：廢液處理裝置，以及連通所述清洗液循環(huán)池和所述廢液處理裝置之間的排液管路；其中，

所述排液管路用于：在清洗結(jié)束后，輸送清洗后的廢液到所述廢液處理裝置；

所述廢液處理裝置用于：對(duì)廢液進(jìn)行無(wú)害化處理。

6.如權(quán)利要求5所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理系統(tǒng)還包括：一端位于首級(jí)噴淋構(gòu)件下方另一端和所述廢液處理裝置相通的直通排液管路，以及連通各噴淋液循環(huán)槽和所述廢液處理裝置的分支排液管路；其中，

所述直通排液管路用于：在清洗階段結(jié)束后，輸送首級(jí)噴淋構(gòu)件下方的廢液到所述廢液處理裝置；

所述分支排液管路用于：在清洗階段結(jié)束后，輸送各噴淋液循環(huán)槽收集的廢液到所述廢液處理裝置。

7.如權(quán)利要求6所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述直通排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或

所述分支排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液分支排液管路共用部分管路；和/或

所述回液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或

所述進(jìn)液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或

所述直通供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或

所述分支供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液分支供液管路共用部分管路。

8.如權(quán)利要求7所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，在所述回液管路、所述供液管路、所述排液管路、所述進(jìn)液管路、所述直通供液管路、所述分支供液管路、所述直通排液管路、所述分支排液管路、所述噴淋液進(jìn)液管路、所述噴淋液排液管路、所述噴淋液分支排液管路、所述噴淋液供液管路以及所述噴淋液分支供液管路上分別設(shè)置有控制閥。

9.一種如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述噴淋系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，包括：

在清洗階段控制清洗液供給系統(tǒng)對(duì)各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；

在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對(duì)被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋。