[發(fā)明專利]一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410735183.1
• 申請日: 2014-12-05
• 公開（公告）號: CN104391433A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周偉;趙永冬;徐立銘;謝金濤;黃林;姚亮
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法。

背景技術(shù)

目前，顯影設(shè)備和清洗設(shè)備統(tǒng)稱為噴淋系統(tǒng)。現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，如圖1所示，包括：具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件001，(圖1只示出了三個噴淋構(gòu)件，其他噴淋構(gòu)件未示出，噴淋構(gòu)件的總個數(shù)在此不作限定)，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中噴淋液供給系統(tǒng)包括噴淋液供給裝置100，設(shè)置在除首級噴淋構(gòu)件001a之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002，連通噴淋液供給裝置100和末級噴淋構(gòu)件001c的噴頭的噴淋液供液管路1，連通噴淋液供給裝置100和各噴淋液循環(huán)槽002之間的噴淋液分支供液管路2，連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002和和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進液管路3，以及動力構(gòu)件，其中各噴淋液循環(huán)槽002的作用是為了收集從本級噴淋構(gòu)件下方流出的噴淋液；噴淋液回收系統(tǒng)包括噴淋液回收裝置200，一端位于首級噴淋構(gòu)件001a下方另一端和噴淋液回收裝置200相通的噴淋液排液管路4，連通各噴淋液循環(huán)槽002和噴淋液回收裝置200的噴淋液分支排液管路5；控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進行噴淋，以及控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進行回收。在噴淋系統(tǒng)工作階段，噴淋液供給裝置100通過噴淋液供液管路1提供噴淋液到末級噴淋構(gòu)件001c的噴頭，然后噴淋液流入到末級噴淋構(gòu)件001c下方的噴淋液循環(huán)槽002，再通過動力構(gòu)件作用經(jīng)噴淋液進液管路3流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件001a的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件中基板的噴淋，并在噴淋結(jié)束后，噴淋液經(jīng)噴淋液排液管路4和噴淋液分支排液管路5流入噴淋液回收裝置200進行噴淋液的排放。

以噴淋系統(tǒng)中的清洗設(shè)備為例，目前現(xiàn)有的清洗設(shè)備在工作階段由于長期利用去離子水清洗噴淋構(gòu)件中的基板，洗掉的基板表面的顆粒物及少量光刻膠等有機物在循環(huán)使用的過程中逐漸累積于清洗設(shè)備的管路和噴頭內(nèi)，這些異物嚴重影響著清洗設(shè)備的清洗能力，會造成基板的品質(zhì)異常，因此去除管路及噴頭內(nèi)的異物對產(chǎn)品良率的提高及設(shè)備的維護有很大的必要性?，F(xiàn)有的去除噴淋系統(tǒng)的管路和噴頭內(nèi)異物的方法就是采取人工拆卸管路和噴頭，利用清洗液浸泡清洗的方式去除污垢，此種方法雖然可以將污垢去除，但作業(yè)過程繁瑣，任務(wù)量極大，另外長期拆卸管路和噴頭會加劇了設(shè)備的損耗。同樣地，顯影設(shè)備也會存在上述問題。

因此，如何不使用人工拆卸的方法實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)的管路及噴頭的清洗，提高清洗效率,是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實施例提供一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法，可以實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，提高清洗效率。

因此，本發(fā)明實施例提供了一種噴淋系統(tǒng)，包括具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中所述控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制所述噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進行噴淋，以及在噴淋系統(tǒng)工作階段結(jié)束后控制所述噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進行回收，還包括：

清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在所述控制系統(tǒng)的控制下，對各所述噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進行清洗；

廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在所述控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進行排放。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述清洗液供給系統(tǒng)包括：清洗液供給裝置、清洗液循環(huán)池、連通所述清洗液供給裝置和所述清洗液循環(huán)池之間的供液管路、連通所述清洗液循環(huán)池和末級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的進液管路、一端位于首級噴淋構(gòu)件下方另一端連接所述清洗液循環(huán)池的回液管路、動力構(gòu)件、以及與所述噴淋液供給系統(tǒng)共用的噴淋液循環(huán)槽和噴淋液進液管路；其中，

所述清洗液供給裝置用于：在清洗階段通過所述供液管路輸送清洗液到所述清洗液循環(huán)池；

所述清洗液循環(huán)池用于：在清洗階段通過所述進液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭，以及接收清洗后的廢液；

在清洗階段，除首級噴淋構(gòu)件之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽還用于：通過連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到上一級噴淋構(gòu)件的噴頭；

所述回液管路用于：輸送清洗后的廢液到所述清洗液循環(huán)池。