[發明專利]真空泵

在審

• 申請號: 201410733436.1
• 申請日: 2014-12-05
• 公開（公告）號: CN104948475A
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 筒井慎吾
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/58;F04D29/52
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種真空泵，包括包含轉子圓筒部及定子的螺紋槽排氣部，從排氣端口排出自吸氣口吸入的氣體，所述真空泵的特征在于包括：

基座，構成泵容器；

轉子，包括所述轉子圓筒部；

內側定子，在所述內側定子與所述轉子圓筒部的內周面之間形成所述螺紋槽排氣部的內側氣體排氣通路；

外側定子，在所述外側定子與所述轉子圓筒部的外周面之間形成所述螺紋槽排氣部的外側氣體排氣通路，并且與所述內側定子熱耦合；

連通用開口部，設置于所述轉子，將所述外側氣體排氣通路與所述內側氣體排氣通路在上游側連通；

排氣口，使通過所述外側氣體排氣通路及所述內側氣體排氣通路而合流的氣體從螺紋槽排氣部向所述排氣端口排出；以及

基座冷卻裝置，使所述基座冷卻。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述基座包括中央筒部及外筒部，

所述內側定子經由隔熱材料而保持于所述中央筒部，

所述外側定子經由隔熱材料或者不經由隔熱材料而保持于所述外筒部。

3.根據權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述內側定子及所述外側定子為直徑互不相同的筒狀構件，所述各筒狀構件在氣體排氣通路下游側進行熱連接，并且在所述熱連接部上形成有所述螺紋槽排氣部的所述排氣口。

4.根據權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述基座包括中央筒部及外筒部，

在所述中央筒部，設置有對所述轉子進行旋轉驅動的馬達的馬達定子，

所述基座冷卻裝置包含使所述中央筒部冷卻的下部基座冷卻裝置。

5.根據權利要求4所述的真空泵，其特征在于包括：

與所述螺紋槽排氣部不同的渦輪葉片排氣部，

所述基座冷卻裝置包含使所述渦輪葉片排氣部冷卻的上部基座冷卻裝置。

6.根據權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于進一步包括：

定子升溫裝置，

所述定子升溫裝置包括用于對所述外側定子進行升溫的定子升溫用加熱器、以及對所述外側定子的溫度進行檢測的定子升溫用溫度傳感器，并且根據所述定子升溫用溫度傳感器的檢測結果進行所述定子升溫用加熱器的輸出調整而對所述外側定子以及所述內側定子進行溫度調整。

7.根據權利要求6所述的真空泵，其特征在于：

所述定子升溫裝置更包括經由密封構件安裝于所述基座上的導熱構件，所述定子升溫用加熱器以及所述定子升溫用溫度傳感器設置于所述導熱構件上。

8.根據權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述螺紋槽排氣部的所述外側定子的軸向長度與所述內側定子的軸向長度相同。