[發明專利]在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法有效
| 申請號： | 201410724871.8 | 申請日： | 2014-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN105720136B | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 嚴敏;程君;周鳴波 | 申請（專利權）人： | 無錫極目科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京冠榆知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11666 | 代理人： | 朱亞琦 |
| 地址： | 214100 江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復合 玻璃 基板上 制造 視頻 顯示 多色 led 方法 | ||
1.一種在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法，其特征在于，所述方法包括：
在復合玻璃基板上制備第一掩蔽層，所述第一掩蔽層用于掩蔽除第一顏色LED生長區之外的其它區域；
在所述第一顏色LED生長區和第一掩蔽層上淀積第一顏色外延層，形成第一顏色LED；所述第一顏色外延層包括第一顏色N型外延層和第一顏色P型外延層；
去除所述第一掩蔽層和所述第一掩蔽層上的第一顏色外延層；
制備第二掩蔽層，所述第二掩蔽層用于掩蔽除第二顏色LED生長區之外的其它區域；
在所述第二顏色LED生長區和第二掩蔽層上淀積第二顏色外延層，形成第二顏色LED；所述第二顏色外延層包括第二顏色N型外延層和第二顏色P型外延層；
去除所述第二掩蔽層和所述第二掩蔽層上的第二顏色外延層；
對所述復合玻璃基板的表面進行研磨，清洗和電學測試；
其中，所述復合玻璃基板包括：玻璃基板和容置于所述玻璃基板一側的磊晶襯片；且所述第一掩蔽層、第二掩蔽層均制備與所述磊晶襯片一側。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述磊晶襯片包括：
SiC襯片、Al2O3襯片或GaAs襯片中的任一種。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述在復合玻璃基板上制備第一掩蔽層具體包括：
在所述復合玻璃基板上物理氣相沉積SiO2；
對所述SiO2進行臺階Mesa光刻，露出所述第一顏色LED生長區的SiO2；
對所述第一顏色LED生長區的SiO2進行刻蝕，用以在所述第一顏色LED生長區內露出所述磊晶襯片。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述制備第二掩蔽層具體包括：
在所述復合玻璃基板上物理氣相沉積SiO2；
對所述SiO2進行臺階Mesa光刻，露出所述第二顏色LED生長區的SiO2；
對所述第二顏色LED生長區的SiO2進行刻蝕，用以在所述第二顏色LED生長區內露出所述磊晶襯片。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述淀積具體為：
采用金屬有機化合物化學氣相沉淀MOCVD的方法，進行外延層生長。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述對所述復合玻璃基板的表面進行研磨，清洗和電學測試之前，所述方法還包括：
制備第三掩蔽層，所述第三掩蔽層用于掩蔽除第三顏色LED生長區之外的其它區域；
在所述第三顏色LED生長區和第三掩蔽層上淀積第三顏色外延層，形成第三顏色LED；所述第三顏色外延層包括第三顏色N型外延層和第三顏色P型外延層；
去除所述第三掩蔽層和所述第三掩蔽層上的第三顏色外延層。
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