[發明專利]在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法有效

申請號：	201410724871.8	申請日：	2014-12-02
公開（公告）號：	CN105720136B	公開（公告）日：	2019-04-05
發明（設計）人：	嚴敏;程君;周鳴波	申請（專利權）人：	無錫極目科技有限公司
主分類號：	H01L33/00	分類號：	H01L33/00
代理公司：	北京冠榆知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11666	代理人：	朱亞琦
地址：	214100 江蘇省無錫市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	復合玻璃基板上制造視頻顯示多色 led 方法
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【說明書】：

本發明涉及一種在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法，包括：在復合玻璃基板上制備第一掩蔽層，第一掩蔽層用于掩蔽除第一顏色LED生長區域之外的其它區域；在第一顏色LED生長區和第一掩蔽層上淀積第一顏色外延層，形成第一顏色LED；去除第一掩蔽層和第一掩蔽層上的第一顏色外延層；制備第二掩蔽層，第二掩蔽層用于掩蔽除第二顏色LED生長區域之外的其它區域；在第二顏色LED生長區和第二掩蔽層上淀積第二顏色外延層，形成第二顏色LED；去除第二掩蔽層和第二掩蔽層上的第二顏色外延層；對復合玻璃基板的表面進行研磨，清洗和電學測試。

技術領域

本發明涉及半導體領域，尤其涉及一種在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法。

背景技術

在一般LED視頻顯示板制造過程中，由于受制于一般性電子加工的后工序，譬如需要對LED晶片先實施封裝，然后再進行雙列直插式封裝(dual inline-pin package，DIP)或表面貼裝(Surface Mount Technology，SMT)組裝等等，已經使LED行業沒有問津超小晶片的制作的必要，而這正是LED在超高密度上沒有機會發揮其超高亮長壽命性能穩定等優勢，去覆蓋類似高分辨率的手機屏幕的視頻顯示領域的應用。

發明內容

本發明的目的是提供一種在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法。

第一方面，本發明實施例提供了一種在復合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法，包括：

在復合玻璃基板上制備第一掩蔽層，所述第一掩蔽層用于掩蔽除第一顏色LED生長區域之外的其它區域；

在所述第一顏色LED生長區和第一掩蔽層上淀積第一顏色外延層，形成第一顏色LED；所述第一顏色外延層包括第一顏色N型外延層和第一顏色P型外延層；

去除所述第一掩蔽層和所述第一掩蔽層上的第一顏色外延層；

制備第二掩蔽層，所述第二掩蔽層用于掩蔽除第二顏色LED生長區域之外的其它區域；

在所述第二顏色LED生長區和第二掩蔽層上淀積第二顏色外延層，形成第二顏色LED；所述第二顏色外延層包括第二顏色N型外延層和第二顏色P型外延層；

去除所述第二掩蔽層和所述第二掩蔽層上的第二顏色外延層；

對所述復合玻璃基板的表面進行研磨，清洗和電學測試。

優選的，所述復合玻璃基板包括：玻璃基板和容置于所述玻璃基板一側的磊晶襯片；

所述第一掩蔽層、第二掩蔽層和第三掩蔽層均制備與所述磊晶襯片一側。