[發明專利]動態隨機存取存儲器

有效

• 申請號: 201410718730.5
• 申請日: 2014-12-02
• 公開（公告）號: CN105720059B
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 林志豪
• 申請（專利權）人: 華邦電子股份有限公司
• 主分類號: H01L27/108
• 分類號: H01L27/108
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

1.一種動態隨機存取存儲器，其特征在于，包括：

基板；

多數個埋入式字線，位于所述基板內；

多數個位線，位于所述基板上橫跨所述埋入式字線；

多數個有源區，其長邊方向與所述位線的延伸方向呈現銳角θ，所述銳角θ為15°～50°，且每一個所述埋入式字線將排列在同一列的所述有源區劃分為兩個接觸區，每一個所述位線電性連接每一個所述埋入式字線兩側鄰接的所述接觸區；以及

多數個電容器，設置在所述位線之間，且每一個所述電容器電性連接每一個所述埋入式字線兩側鄰接的所述接觸區，其中

在每一個所述有源區中，所述接觸區的一個電性連接所述電容器、以及所述接觸區的另一個電性連接所述位線。

2.根據權利要求1所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，還包括多數個絕緣結構，位于所述埋入式字線之間。

3.根據權利要求1所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，還包括多數個電容器接觸窗，位于所述電容器與所述接觸區之間。

4.根據權利要求1所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，還包括多數個位線接觸窗，位于所述位線與所述接觸區之間。

5.根據權利要求4所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，在所述位線的延伸方向上的所述位線接觸窗之間的距離大于所述埋入式字線的線寬。

6.根據權利要求4所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，在所述位線的延伸方向上的所述位線接觸窗之間的距離小于所述埋入式字線的距離。

7.根據權利要求1所述的動態隨機存取存儲器，其特征在于，所述埋入式字線與所述位線互相垂直。