[發(fā)明專利]光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置、貼合度檢測(cè)裝置、蒸鍍系統(tǒng)及其方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410714370.1
• 申請(qǐng)日: 2014-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105702880A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林信志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;C23C14/04;C23C14/24;G01B11/02
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;趙根喜

1.一種光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，用于基板與金屬掩膜之間的對(duì)位補(bǔ) 償數(shù)據(jù)的獲取，其特征在于，所述光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置包括：

一影像采集機(jī)構(gòu)，用于采集所述基板與所述金屬掩膜交迭后，所述金屬掩 膜的開(kāi)口以及與其對(duì)應(yīng)的所述基板的像素開(kāi)口的圖像；以及

一處理機(jī)構(gòu)，用于根據(jù)采集的所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi) 口的圖像得到所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口間的一偏移量，計(jì) 算所述基板與所述金屬掩膜之間的一位置補(bǔ)償數(shù)據(jù)。

2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，其特征在于，所述 處理機(jī)構(gòu)包括：

一獲取單元，用于根據(jù)采集的所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口 的圖像獲取所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口間的所述偏移量；

一計(jì)算單元，用于根據(jù)所述偏移量計(jì)算所述位置補(bǔ)償數(shù)據(jù)。

3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，其特征在于，所述 影像采集機(jī)構(gòu)包括至少一組CCD陣列。

4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，其特征在于，所述 一組CCD陣列包括沿第一方向排列的多個(gè)CCD。

5.如權(quán)利要1或4所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，其特征在于，所 述光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置還包括：

一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述影像采集機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使所述影像采集機(jī)構(gòu)能夠 采集各位置的所述金屬掩膜的開(kāi)口以及與其對(duì)應(yīng)的所述基板的像素開(kāi)口的圖 像。

6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償數(shù)據(jù)獲取裝置，其特征在于，所述 移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠沿第一方向和第二方向驅(qū)動(dòng)所述影像采集機(jī)構(gòu)移動(dòng)，其中所述第 二方向垂直于所述第一方向。

7.一種光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，用于基板與金屬掩膜之間的對(duì)位補(bǔ)償，其特 征在于，所述光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置包括：

一影像采集機(jī)構(gòu)，用于采集所述基板與所述金屬掩膜交迭后，所述金屬掩 膜的開(kāi)口以及與其對(duì)應(yīng)的所述基板的像素開(kāi)口的圖像；

一處理機(jī)構(gòu)，用于根據(jù)采集的所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口 的圖像得到所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口間的一偏移量，計(jì)算所 述基板與所述金屬掩膜之間的一位置補(bǔ)償數(shù)據(jù)；

一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用于根據(jù)計(jì)算得到的所述位置補(bǔ)償數(shù)據(jù)，調(diào)節(jié)所述基板或所 述金屬掩膜的位置，使所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口對(duì)位準(zhǔn)確。

8.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述處理機(jī)構(gòu) 包括：

一獲取單元，根據(jù)采集的所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口的圖 像獲取所述金屬掩膜的開(kāi)口與所述基板的像素開(kāi)口間的所述偏移量；

一計(jì)算單元，用于根據(jù)所述偏移量計(jì)算所述位置補(bǔ)償數(shù)據(jù)。

9.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述影像采集 機(jī)構(gòu)包括至少一組CCD陣列。

10.如權(quán)利要求9所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述一組CCD 陣列包括沿第一方向排列的多個(gè)CCD。

11.如權(quán)利要7或10所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述光學(xué) 對(duì)位補(bǔ)償裝置還包括：

一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述影像采集機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使所述影像采集機(jī)構(gòu)能夠 采集各位置的所述金屬掩膜的開(kāi)口以及與其對(duì)應(yīng)的所述基板的像素開(kāi)口的圖 像。

12.如權(quán)利要求11所述的光學(xué)對(duì)位補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī) 構(gòu)能夠沿第一方向和第二方向驅(qū)動(dòng)所述影像采集機(jī)構(gòu)移動(dòng)，其中所述第二方向 垂直于所述第一方向。