[發(fā)明專利]校正盤自動(dòng)除顫裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410692027.1
• 申請(qǐng)日: 2014-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN105619206A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳健;陳福恭;許喬;王健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海中晶企業(yè)發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): B24B13/01
• 分類號(hào): B24B13/01;B24B51/00
• 代理公司: 上海天協(xié)和誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31216
• 代理人: 李琳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)光學(xué)玻璃元件表面冷加工的設(shè)備，具體涉及一種對(duì)光學(xué)玻璃元件表面冷加工的大型環(huán)拋光機(jī)。

背景技術(shù)

對(duì)大型光學(xué)玻璃元件平面的精密加工，目前一般采用大型環(huán)拋機(jī)?，F(xiàn)有的大型環(huán)拋機(jī)有一個(gè)坐設(shè)在機(jī)座上可自轉(zhuǎn)的大型拋光盤，其直徑可達(dá)3-4m，所述拋光盤面上設(shè)有拋光膜，光學(xué)玻璃元件放置于設(shè)在拋光盤上，借助于玻璃元件與拋光盤之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)對(duì)玻璃元件的表面進(jìn)行拋磨加工。由于在拋磨加工過程中，拋光盤上的拋光膜的平整度會(huì)逐漸變差，因此，在加工的過程中或加工結(jié)束后要對(duì)拋光盤的拋光膜的進(jìn)行修整。修整時(shí)，將一較重的校正盤置于旋轉(zhuǎn)的拋光盤上，在水平移盤機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下該校正盤可在拋光盤上作自轉(zhuǎn)并可沿拋光盤直徑方向移動(dòng)，借助校正盤與拋光盤之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光盤的修整。

其中移盤裝置的結(jié)構(gòu)是這樣的。在一沿拋光盤直徑方向架設(shè)的橫梁上，設(shè)有水平導(dǎo)軌、水平絲杠、水平拖板和校正盤驅(qū)動(dòng)裝置組成的校正盤移盤機(jī)構(gòu)，所述水平絲杠驅(qū)動(dòng)水平拖板沿水平導(dǎo)軌移動(dòng)；通過水平絲杠驅(qū)使裝在水平拖板上校正盤驅(qū)動(dòng)裝置往復(fù)移動(dòng)，然后驅(qū)動(dòng)校正盤旋轉(zhuǎn)同時(shí)在拋光盤直徑方向上往復(fù)移動(dòng)。垂直提升機(jī)構(gòu)設(shè)在水平拖板上，通過提升絲杠、提升導(dǎo)軌帶動(dòng)提升拖板（柔性軸）上下運(yùn)動(dòng)，柔性軸的下端與校正盤樞連，形成一個(gè)柔性懸吊機(jī)構(gòu)，使柔性軸既能提升校正盤又不妨礙其旋轉(zhuǎn)；通過垂直提升機(jī)構(gòu)可以微調(diào)校正盤對(duì)拋光盤的壓力。

在校正盤進(jìn)行修整作業(yè)時(shí)，有時(shí)會(huì)因校正盤與拋光盤的接觸不良與受力不均等問題突然產(chǎn)生劇烈震顫，而這種震顫有時(shí)還會(huì)因共振而加強(qiáng)，以至波及整個(gè)設(shè)備，這樣不僅會(huì)嚴(yán)重破壞拋光盤的拋光膜，還可能損壞整個(gè)設(shè)備，甚至發(fā)生安全事故。目前如一旦發(fā)生震顫，一般要求操作人員立即操縱設(shè)備將校正盤從拋光盤上提起，盡快將它們分開。但由于人工響應(yīng)的滯后性，操作人員幾乎不可能在第一時(shí)間響應(yīng)，即使響應(yīng)了，也不可能立即將校正盤提離拋光盤，以及時(shí)克服震顫帶來的破壞作用。而且，當(dāng)采用將校正盤從拋光盤上提起后，再次將校正盤放回拋光盤時(shí)，震顫可能再次產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種校正盤自動(dòng)除顫裝置，通過在裝置中引入震顫?rùn)z測(cè)組件，并通過智能控制單元對(duì)校正盤的震顫值進(jìn)行在線監(jiān)控，一旦發(fā)現(xiàn)校正盤的震顫值異常，有可能產(chǎn)生震顫時(shí)立即由垂直提升機(jī)構(gòu)自動(dòng)將校正盤從拋光盤上提起，避免震顫的產(chǎn)生，從而防患于未然。

本發(fā)明的另一目的在于，在將校正盤放回拋光盤的過程中，執(zhí)行可控的下降進(jìn)程，以防止震顫再次產(chǎn)生。

本發(fā)明的再一個(gè)目的是在垂直提升機(jī)構(gòu)中引入杠桿結(jié)構(gòu)，從而可以用較小的力提升較笨重的校正盤。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。

一種校正盤自動(dòng)除顫裝置，主要包括拋光盤，設(shè)于所述拋光盤上的校正盤，架設(shè)于拋光盤上方的橫梁、設(shè)于所述橫梁上的水平移盤機(jī)構(gòu)和架設(shè)于水平移盤機(jī)構(gòu)上設(shè)有垂直提升機(jī)構(gòu)；還有，一能檢測(cè)到所述校正盤震顫強(qiáng)度的震顫?rùn)z測(cè)組件；一智能控制單元；所述智能控制單元、震顫?rùn)z測(cè)組件與垂直提升機(jī)構(gòu)組成閉環(huán)的除顫智能控制系統(tǒng)：所述震顫?rùn)z測(cè)組件將測(cè)量到的校正盤震顫值信號(hào)輸至智能控制單元，當(dāng)震顫值大于設(shè)定值震顫可能即將發(fā)生時(shí)，智能控制單元向垂直提升機(jī)構(gòu)發(fā)出指令信號(hào)，將校正盤從拋光盤上提起，防止校正盤震顫的發(fā)生。

進(jìn)一步地，還有一個(gè)能檢測(cè)到所述垂直提升機(jī)構(gòu)對(duì)校正盤的提升力的提升力檢測(cè)組件；所述智能控制單元、震顫?rùn)z測(cè)組件、提升力檢測(cè)組件與垂直提升機(jī)構(gòu)組成閉環(huán)的除顫智能控制系統(tǒng)：在校正盤下放至拋光盤的下降過程中，所述智能控制單元不斷地將提升力檢測(cè)組件提供的垂直提升機(jī)構(gòu)對(duì)校正盤的拉力值及所述震顫?rùn)z測(cè)組件提供的校正盤的震顫值分別與設(shè)定值比較，并依此控制垂直提升機(jī)構(gòu)調(diào)整校正盤的下降速度，使校正盤無震顫地放回到拋光盤上。

所述提升組件（32）中采用由垂直絲杠驅(qū)動(dòng)或氣缸、油缸驅(qū)動(dòng)提升桿（321）進(jìn)一步地，所述垂直提升機(jī)構(gòu)主要包括提升組件、杠桿組件，震顫?rùn)z測(cè)組件和柔性軸組件。

所述提升組件中采用由垂直絲杠副或氣（油）缸驅(qū)動(dòng)提升桿。

所述杠桿組件主要包括支架、支軸和杠桿。所述支架固定在所述水平移盤機(jī)構(gòu)的水平拖板上，并向垂直于水平移盤機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)方向伸出，支軸設(shè)在所述支架上，杠桿樞設(shè)于該支軸上，可繞其擺動(dòng)。該杠桿的一端與所述垂直提升組件的提升桿樞連，另一端與所述柔性軸組件上端樞連，柔性軸組件的下端與校正盤樞連。為了降低提升組件的功率，所述杠桿與提升桿的連接點(diǎn)到支軸的距離大于該杠桿另一端與所述柔性軸組件的連接點(diǎn)到支軸的距離。

本發(fā)明的突出貢獻(xiàn)是：