[發明專利]隔膜真空泵

有效

• 申請號: 201410677561.5
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104976106B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 有賀真一
• 申請（專利權）人: 東京理化器械株式會社
• 主分類號: F04B43/02
• 分類號: F04B43/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發明提供一種能提高排氣量和極限真空度并能謀求裝置的小型化的隔膜真空泵。該隔膜真空泵通過如下方式形成，即，形成隔膜真空泵單元(11a)，并將隔膜真空泵單元沿上下方向疊放多層，利用齒形帶(2)將在上下方向上相鄰的隔膜真空泵單元的凸輪軸彼此連結起來，并將一個隔膜真空泵單元的凸輪軸(12a)連接于馬達(12)，隔膜真空泵單元包括：凸輪軸；曲軸機構(13)，通過凸輪軸的旋轉進行工作；連接構件(14)，利用曲軸機構而沿水平方向進行往復運動；隔膜(15、16)，其安裝于連接構件的兩端部；一對泵室(17、18)，其容積通過隔膜的動作而擴大或縮小；與泵室相連通的進氣通路和排氣通路；進氣側止回閥；排氣側止回閥。

技術領域

本發明涉及一種隔膜真空泵，詳細而言，涉及將多個具有一對泵室的隔膜真空泵單元相連結而成的隔膜真空泵。

背景技術

作為隔膜真空泵，存在如下一種隔膜真空泵，其包括：泵室，其通過安裝于連桿的隔膜而擴大或縮小，該連桿利用設于旋轉軸的曲軸機構進行往復運動；與該泵室相連通的進氣通路和排氣通路；進氣側止回閥，其用于限制流體自所述泵室向所述進氣通路逆流；以及排氣側止回閥，其用于限制流體自所述排氣通路向所述泵室逆流(例如，參照專利文獻1。)。另外，還存在一種以如下方式形成的隔膜真空泵：在一個馬達的兩側的旋轉軸設置兩個曲軸機構，在利用各曲軸機構進行往復運動的連桿的兩端分別安裝隔膜，合計設置利用各隔膜而擴大或縮小的4個泵室并將各泵室串聯連接(例如，參照專利文獻2。)。

專利文獻1：日本特開平4－224286號公報

專利文獻2：日本特開平6－185466號公報(圖2、圖3)

發明內容

發明要解決的問題

但是，所述專利文獻2所記載的隔膜真空泵的構造復雜，用于將泵室連接的管設置在外殼內，因此，其用途僅限于提高極限真空度，另外，由于在馬達的兩側設有泵室，因而存在設置面積較大這樣的問題。

因此，本發明的目的在于，提供一種能夠減小設置面積而也可謀求構造的簡化、且不僅能夠提高極限真空度而且還能夠謀求提高排氣速度的隔膜真空泵。

用于解決問題的方案

為了實現所述目的，本發明提供一種隔膜真空泵，其特征在于，該隔膜真空泵通過如下方式形成，即，形成隔膜真空泵單元，將該隔膜真空泵單元沿上下方向疊放多層，利用齒形帶將在上下方向上相鄰的所述隔膜真空泵單元的凸輪軸彼此連結起來，并將一個隔膜真空泵單元的所述凸輪軸連接于馬達，該隔膜真空泵單元包括：所述凸輪軸，其兩端部以能夠旋轉的方式支承于外殼；曲軸機構，其通過該凸輪軸的旋轉進行工作；連接構件，其能利用該曲軸機構而沿與所述凸輪軸的軸線正交的水平方向進行往復運動；隔膜，其分別安裝于該連接構件的兩端部；一對泵室，該一對泵室的容積通過該隔膜的動作而擴大或縮小；與各泵室相連通的進氣通路和排氣通路；進氣側止回閥，其用于限制流體自所述泵室向所述進氣通路逆流；以及排氣側止回閥，其用于限制流體自所述排氣通路向所述泵室逆流。

另外，優選的是，利用連結管將一個泵室的所述排氣通路和另一個泵室的所述進氣通路連接起來，該連結管由形成為日文コ字狀的透明且具有耐化學藥品性的樹脂制的管來形成，并在該連結管的兩端部分別一體地設有以能夠裝卸的方式借助密封構件連接于所述進氣通路或所述排氣通路的連結部。

發明的效果