[發明專利]隔膜真空泵

有效

• 申請號: 201410677561.5
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104976106B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 有賀真一
• 申請（專利權）人: 東京理化器械株式會社
• 主分類號: F04B43/02
• 分類號: F04B43/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種隔膜真空泵，其特征在于，

該隔膜真空泵通過如下方式形成，即，形成隔膜真空泵單元，將該隔膜真空泵單元沿上下方向疊放多層，利用齒形帶將在上下方向上相鄰的所述隔膜真空泵單元的凸輪軸彼此連結起來，并將一個隔膜真空泵單元的所述凸輪軸連接于馬達，

該隔膜真空泵單元包括：

所述凸輪軸，其兩端部以能夠旋轉的方式支承于外殼；

曲軸機構，其通過該凸輪軸的旋轉進行工作；

一個連接構件，其能利用該曲軸機構而沿與所述凸輪軸的軸線正交的水平方向進行往復運動，在所述連接構件的一端側形成有供所述凸輪軸貫穿且容許所述連接構件沿水平方向移動的貫穿孔；

隔膜，其分別安裝于該連接構件的兩端部；

一對泵室，該一對泵室的容積通過該隔膜的動作而擴大或縮小；

與各泵室相連通的進氣通路和排氣通路；

進氣側止回閥，其用于限制流體自所述泵室向所述進氣通路逆流；以及

排氣側止回閥，其用于限制流體自所述排氣通路向所述泵室逆流，

所述曲軸機構包括：偏心凸輪，其以與所述凸輪軸正交的方式安裝于所述凸輪軸且與該凸輪軸構成一體地進行旋轉；從動構件，其以能夠轉動的方式連結于該偏心凸輪的外周；以及所述連接構件，其連結于該從動構件，在所述連接構件的另一端側形成有供與所述從動構件相連結的連結銷嵌合的連結銷嵌合孔。

2.根據權利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，

利用連結管將一個泵室的所述排氣通路和另一個泵室的所述進氣通路連接起來，該連結管由形成為日文コ字狀的透明且具有耐化學藥品性的樹脂制的管形成，并在該連結管的兩端部分別一體地設有以能夠裝卸的方式借助密封構件連接于所述進氣通路或所述排氣通路的連結部。