[發明專利]曝光機的對位方法

在審

• 申請號: 201410676716.3
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN105629683A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 劉曉佳;鄧亮
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種曝光機的對位方法，其特征在于，包括如下步驟：

選取同一對位區中的多個對位標中的任一個作為基準對位標，將除基準對 位標以外的其他對位標作為備用對位標；

利用所述基準對位標進行對位；以及

當所述基準對位標對位失敗時，從所述備用對位標中選取一個備用對位標 并用以進行對位，當選取的備用對位標也對位失敗時，重復執行從剩余的備用 對位標中重新選取一個并用以進行對位的步驟。

2.如權利要求1所述的曝光機的對位方法，其特征在于，所述同一對位區 中的多個對位標等間距排列。

3.如權利要求2所述的曝光機的對位方法，其特征在于，根據預先設置的 優先次序調用所述多個對位標。

4.如權利要求1所述的曝光機的對位方法，其特征在于，所述同一對位區 中的多個對位標的圖案彼此不同。

5.如權利要求1所述的曝光機的對位方法，其特征在于，還包括：當利用 從所述備用對位標中選取的備用對位標對位成功后，根據對位結果生成補償值 并進行補償。

6.如權利要求5所述的曝光機的對位方法，其特征在于，所述根據對位結 果生成補償值包括：獲取對位成功的備用對位標與基準對位標之間的間距，將 該間距加入補償計算。

7.如權利要求1所述的曝光機的對位方法，其特征在于，當所述基準對位 標對位失敗時，從所述備用對位標中選取一個備用對位標并用以進行對位的步 驟中，當所述基準對位標對位失敗時，先自動重復對位多次。

8.如權利要求7所述的曝光機的對位方法，其特征在于，自動重復對位的 次數為2次以上。

9.如權利要求1所述的曝光機的對位方法，其特征在于，所述多個對位標 是利用掩膜板預先轉移制作在基板上的。