[發明專利]一種薄膜晶體管結構、其制作方法及相關裝置

在審

• 申請號: 201410676136.4
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104409514A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發明（設計）人: 王楊;龍躍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L29/423;H01L21/336
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤指一種薄膜晶體管結構、其制作方法及相關裝置。

背景技術

顯示面板中的薄膜晶體管是關鍵器件，但是薄膜晶體管所在區域不透光，當顯示面板中有多個薄膜晶體管時，多個薄膜晶體管在整個顯示面板中所占區域的面積大小會對顯示面板的顯示有一定的影響。

例如，越來越多的顯示面板都利用柵線集成驅動(Gate?Driver?on?Array，簡稱GOA)技術，將柵極開關電路集成在顯示面板中的薄膜晶體管結構上以形成對顯示面板的掃描驅動，從而可以從材料成本和制作工藝兩方面降低產品成本，這種集成在薄膜晶體管結構上的柵極開關電路稱作柵線集成驅動電路，在柵線集成驅動電路中通常形成多個薄膜晶體管，會造成柵線集成驅動電路在整個顯示面板中所占區域的面積較大，造成顯示面板的邊框較寬，不利于窄邊框設計。

因此，如何保證在多個薄膜晶體管器件正常工作的前提下，減小薄膜晶體管在整個顯示面板中所占區域的面積，是本領域技術人員亟需解決的技術問題。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種薄膜晶體管結構、其制作方法及相關裝置，可以縮小薄膜晶體管結構在整個顯示面板中所占區域的面積。

因此，本發明實施例提供了一種薄膜晶體管結構，包括：襯底基板，在所述襯底基板上層疊設置的第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體管；

所述第一薄膜晶體管和所述第二薄膜晶體管共用一個柵極。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，所述第一薄膜晶體管為頂柵型薄膜晶體管，所述第二薄膜晶體管為底柵型薄膜晶體管。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，所述第一薄膜晶體管和所述第二薄膜晶體管同時為P型晶體管或N型晶體管；或，

所述第一薄膜晶體管和所述第二薄膜晶體管分別為P型晶體管和N型晶體管。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，所述第一薄膜晶體管的源漏極和所述第二薄膜晶體管的源漏極在所述襯底基板上的正投影相互重疊。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，所述第一薄膜晶體管的有源層和所述第二薄膜晶體管的有源層在所述襯底基板上的正投影相互重疊。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，所述第一薄膜晶體管的有源層和所述第二薄膜晶體管的有源層的材料分別為非晶硅、多晶硅、或半導體氧化物。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構中，還包括：設置在所述襯底基板和所述第一薄膜晶體管之間的保護層。

本發明實施例還提供了一種陣列基板，包括本發明實施例上述的薄膜晶體管結構。

本發明實施例還提供了一種電路結構，包括本發明實施例上述的薄膜晶體管結構。

上述所說的電路結構包括柵線集成驅動電路或有機電致發光顯示器件的像素電路。本發明實施例還提供了一種顯示裝置，包括本發明實施例提供的上述陣列基板或電路結構。

本發明實施例還提供了一種本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構的制作方法，包括：

在襯底基板上形成包括源漏極、有源層和柵極的第一薄膜晶體管的圖形；

在所述形成有柵極的襯底基板上形成包括有源層和源漏極的第二薄膜晶體管的圖形。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構的制作方法中，采用同一掩膜板形成所述第一薄膜晶體管中源漏極的圖形和所述第二薄膜晶體管中源漏極的圖形。

在一種可能的實現方式中，在本發明實施例提供的上述薄膜晶體管結構的制作方法中，采用同一掩膜板形成所述第一薄膜晶體管中有源層的圖形和所述第二薄膜晶體管中有源層的圖形。

本發明實施例的有益效果包括：

本發明實施例提供的一種薄膜晶體管結構、其制作方法及相關裝置，其中薄膜晶體管結構包括：襯底基板，在襯底基板上層疊設置的第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體管，第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體管共用一個柵極，由于薄膜晶體管結構采用第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體管層疊設置且共用一個柵極的新型結構，可以縮小多個薄膜晶體管結構在整個顯示面板中所占區域的面積，同時可以降低功耗，進一步提高顯示面板的性能。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的薄膜晶體管結構的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的薄膜晶體管結構的制作方法流程圖；