[發(fā)明專利]一種錐形激光器輸出端面減反膜鍍制方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410674359.7 | 申請日： | 2014-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN104332824A | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 薄報學(xué);高欣;喬忠良;張晶;李輝;李特;曲軼 | 申請（專利權(quán)）人： | 長春理工大學(xué) |
| 主分類號： | H01S5/22 | 分類號： | H01S5/22;H01S5/028 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 130022 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 錐形 激光器 輸出 端面 減反膜鍍制 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種錐形激光器輸出端面減反膜鍍制方法，其特征在于，由脊形條(1)和錐形放大區(qū)(2)構(gòu)成的錐形激光器，其輸出端面(4)采用射頻反應(yīng)濺射制備的非晶AlxNy薄膜進行減反膜鍍制，通過調(diào)整濺射條件調(diào)整AlxNy薄膜的折射率，使輸出端面(4)的殘余反射率達到GaAs基錐形激光器設(shè)計的要求，同時起到鈍化輸出端面(4)的作用。
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