[發(fā)明專利]光學組件及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410669594.5
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104658982A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發(fā)明（設計）人: 陳敏璋;徐文慶
• 申請（專利權）人: 昆山中辰矽晶有限公司;陳敏璋
• 主分類號: H01L23/04
• 分類號: H01L23/04;H01L21/48
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種光學組件，其特征在于，包含：?一透明的基材，具有一入光面；?一第一引晶層，形成以覆蓋所述入光面；?多個第一納米柱，形成在所述第一引晶層上；以及?一第一保護層，形成以完全覆蓋所述多個第一納米柱。

2.根據權利要求1所述的光學組件，其特征在于，所述多個第一納米柱具有一高度與外徑比的范圍為約1至100。

3.根據權利要求1所述的光學組件，其特征在于，所述多個第一納米柱在所述入光面上形成多個叢集排列，每一個叢集由多個與所述入光面的一法線方向成不同夾角的第一納米柱所構成。

4.根據權利要求1所述的光學組件，其特征在于，所述多個第一納米柱大體上垂直所述入光面。

5.根據權利要求1所述的光學組件，其特征在于，所述第一引晶層由一第一氧化物形成，并且所述多個第一納米柱由一第二氧化物形成。

6.根據權利要求5所述的光學組件，其特征在于，所述第一氧化物的組成以及所述第二氧化物的組成分別選自由Al₂O₃、Al_XTi_YO_Z、Al_XCr_YO_Z、Al_XZr_YO_Z、Al_XHf_YO_Z、Al_XSi_YO_Z、B₂O₃、B_XP_YO_Z、BiO_X、Bi_XTi_YO_Z、BaTiO₃、CaO、CoO、CoO_X、Co₃O₄、CrO_X、CeO₂、Cu₂O、CuO、FeO、FeO_X、Ga₂O₃、GeO₂、HfO₂、In₂O₃、LaAlO₃、La₂O₃、La₂CoO₃、La₂NiO₃、La₂MnO₃、MoN、Mo₂N、Mo_XN、MoO₂、MgO、MnO_X、NiO、Nb₂O₅、PtO₂、P_XB_YO_Z、RuO、Sc₂O₃、SiO₂、Si_XTi_YO_Z、Si_XZr_YO_Z、Si_XHf_YO_Z、SnO₂、Sb₂O₅、SrO、SrCO₃、SrTiO₃、Ta₂O₅、TaO_XN_Y、Ti_XZr_YO_Z、TiO₂、Ti_XHf_YO_Z、VO_X、WO₃、Y₂O₃、ZnO、ZrO₂、PrO_X、Nd₂O₃、Sm₂O₃、Eu₂O₃、Gd₂O₃、Dy₂O₃、Ho₂O₃、Er₂O₃、Tm₂O₃、Lu₂O₃以及上述化合物的混合物所組成的一群組之一，0≦x≦1，0≦y≦1，0≦z≦1。