[發明專利]大理石高精密運動平臺

有效

• 申請號: 201410660405.8
• 申請日: 2014-11-19
• 公開（公告）號: CN104362228A
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 趙裕興;李軍
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L21/78
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

技術領域

本發明涉及一種大理石高精密運動平臺。

背景技術

隨著LED切割市場對于切深控制的要求，特別是對于高端LED芯片而言，激光在晶圓內部的切深精度控制會直接影響其IR等問題。而且隨著四寸晶圓以及六寸晶圓的逐步量產，本身晶圓的片厚誤差也無法很好的保證。具有高精密運動控制的X-Y運動平臺的需求也就應運而生。目前市場上已經有一部分高精密X-Y運動平臺的供應，主要是歐美國家制造。售價一般在30萬人民幣以上。運動平臺是LED設備的核心部件，對于設備的成本控制來說，壓力太大。

綜上所述，高精密X-Y運動平臺的自主研發的意義重大，對于設備的整體競爭力來說，具有較高價值。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種大理石高精密X-Y運動平臺。

本發明的目的通過以下技術方案來實現：

大理石高精密運動平臺，特點是：包含X軸運動平臺、Y軸運動平臺和θ軸運動平臺，所述X軸運動平臺包含X軸大理石底座、X軸直線導軌、X軸連接板和控制X軸連接板運動的X軸直線電機，X軸直線導軌和X軸直線電機安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線導軌上，X軸直線電機與X軸連接板驅動連接，從而控制X軸連接板沿X軸直線導軌運動；

所述Y軸運動平臺包含Y軸大理石底座、Y軸直線導軌、Y軸連接板和控制Y軸連接板運動的Y軸直線電機，Y軸直線導軌和Y軸直線電機安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線導軌上，Y軸直線電機與Y軸連接板驅動連接，從而控制Y軸連接板沿Y軸直線導軌運動；所述Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線導軌與X軸直線導軌呈90度夾角；

所述θ軸運動平臺包含旋轉DD馬達和石英載臺，石英載臺安裝于旋轉DD馬達上，旋轉DD馬達安裝于Y軸連接板上；

所述石英載臺包含載臺板、載臺安裝板、載臺連接板、載臺固定板和旋轉平臺連接板，載臺板置于載臺安裝板的內孔中，載臺安裝板通過載臺連接板與載臺固定板相連接，載臺固定板連接固定于旋轉平臺連接板上，旋轉平臺連接板安裝于旋轉DD馬達的旋轉軸上，所述載臺連接板設有徑向孔以及與其相通的軸向孔，載臺安裝板上設有與載臺連接板上軸向孔相連通的軸向臺階孔以及所述軸向臺階孔相連通的徑向溝槽，載臺安裝板的內孔壁設有與徑向溝槽相通的弧形槽，載臺板上表面設有與弧形槽相通的發射狀溝槽。

進一步地，上述的大理石高精密運動平臺，其中，所述X軸大理石底座上安裝有X軸光柵尺，Y軸大理石底座上安裝有Y軸光柵尺。

更進一步地，上述的大理石高精密運動平臺，其中，所述X軸大理石底座上安裝有兩X軸限位緩沖器，分別位于X軸直線導軌的兩端部；Y軸大理石底座上安裝有兩Y軸限位緩沖器，分別位于Y軸直線導軌的兩端部。

更進一步地，上述的大理石高精密運動平臺，其中，所述Y軸大理石底座通過螺釘連接于X軸連接板上。

再進一步地，上述的大理石高精密運動平臺，其中，所述載臺連接板與載臺安裝板配合的端面設有環形密封槽，環形密封槽中內嵌有環形密封圈。

本發明技術方案突出的實質性特點和顯著的進步主要體現在：

①本發明采用大理石底座，其吸振性遠優于金屬加工件，保證平臺在高速運動時的平穩性及較低的震蕩，從而滿足平臺的運動平面度0.005mm的要求；由于大理石底座加工完后不會有應力釋放，比較容易滿足導軌面平面度的指標；

②真空吸附結構實現數個點同時產生真空負壓，使得產品的受力更加均勻，從而使產品被緊緊吸附住的同時又保證在加工過程中不會移動；

③直線驅動系統取消了由于絲杠等機械機構產生的傳動間隙和誤差，減少了插補運動時因傳動系統滯后帶來的跟蹤誤差，通過直線位置檢測反饋控制，大大提高平臺的定位精度；

④由于“直接驅動”，避免了啟動、變速和換向時因中間傳動環節的彈性變形、摩擦磨損和反向間隙造成的運動滯后現象，提高了其傳動剛度；

⑤運動安靜、噪音低，X-Y軸平臺可拆分，單獨作為一套直線運動模組，也可以與其它直線平臺自由組合構成另一種X-Y運動平臺，配對方便，達到模塊化設計要求。

附圖說明

下面結合附圖對本發明技術方案作進一步說明：

圖1：本發明的結構示意圖；

圖2：θ軸運動平臺的剖視示意圖；

圖3：θ軸運動平臺的俯視示意圖。

具體實施方式