[發(fā)明專利]大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410660405.8
• 申請(qǐng)日: 2014-11-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104362228A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;李軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L33/00
• 分類號(hào): H01L33/00;H01L21/78
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國(guó)

1.大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：包含X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含X軸大理石底座、X軸直線導(dǎo)軌、X軸連接板和控制X軸連接板運(yùn)動(dòng)的X軸直線電機(jī)，X軸直線導(dǎo)軌和X軸直線電機(jī)安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線導(dǎo)軌上，X軸直線電機(jī)與X軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制X軸連接板沿X軸直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；

所述Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含Y軸大理石底座、Y軸直線導(dǎo)軌、Y軸連接板和控制Y軸連接板運(yùn)動(dòng)的Y軸直線電機(jī)，Y軸直線導(dǎo)軌和Y軸直線電機(jī)安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線導(dǎo)軌上，Y軸直線電機(jī)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制Y軸連接板沿Y軸直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；所述Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線導(dǎo)軌與X軸直線導(dǎo)軌呈90度夾角；

所述θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)和石英載臺(tái)，石英載臺(tái)安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)安裝于Y軸連接板上；

所述石英載臺(tái)包含載臺(tái)板、載臺(tái)安裝板、載臺(tái)連接板、載臺(tái)固定板和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板，載臺(tái)板置于載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔中，載臺(tái)安裝板通過(guò)載臺(tái)連接板與載臺(tái)固定板相連接，載臺(tái)固定板連接固定于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述載臺(tái)連接板設(shè)有徑向孔以及與其相通的軸向孔，載臺(tái)安裝板上設(shè)有與載臺(tái)連接板上軸向孔相連通的軸向臺(tái)階孔以及所述軸向臺(tái)階孔相連通的徑向溝槽，載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔壁設(shè)有與徑向溝槽相通的弧形槽，載臺(tái)板上表面設(shè)有與弧形槽相通的發(fā)射狀溝槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X軸大理石底座上安裝有X軸光柵尺，Y軸大理石底座上安裝有Y軸光柵尺。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述X軸大理石底座上安裝有兩X軸限位緩沖器，分別位于X軸直線導(dǎo)軌的兩端部；Y軸大理石底座上安裝有兩Y軸限位緩沖器，分別位于Y軸直線導(dǎo)軌的兩端部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述Y軸大理石底座通過(guò)螺釘連接于X軸連接板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述載臺(tái)連接板與載臺(tái)安裝板配合的端面設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中內(nèi)嵌有環(huán)形密封圈。