[發明專利]一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法在審
| 申請號： | 201410660053.6 | 申請日： | 2014-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN104316542A | 公開（公告）日： | 2015-01-28 |
| 發明（設計）人： | 武衛;羅翀;王國瑞;劉琦;閆繼增 | 申請（專利權）人： | 天津中環領先材料技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 楊慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透光 檢測 英寸 拋光 缺陷 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，其特征在于：所述方法使用透光鏡設備檢測8英寸拋光片的缺陷。
2.根據權利要求1所述的一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，其特征在于：所述方法包括如下步驟：
(1)開啟測試系統總電源輸入；
(2)開啟電腦；
(3)開啟控制盒，按下照明電源上的光源供電開關，此時觀察輸出電流表，電流值為5.4-5.6A，如果顯示數值超過此范圍，調節輸出電流調節旋鈕，將電流值調整到規定范圍；
(4)開啟成像顯示系統；
(5)開啟硅片傳送系統控制器，將待測拋光片放置在硅片承載臺上；
(6)選擇測試參數；
(7)根據界面提示在各個片籃臺上放置相應的片籃，并點擊ENTER鍵確認，所有片籃確認結束后，系統將進入測試界面；
(8)觀察顯示器中的圖形，如果不能完全顯示，則調節硅片承載臺傾斜調節旋鈕使其完全顯示；
(9)測試完畢后，取出所有片籃臺上的片籃；
(10)關機：關閉硅片傳送系統控制器，關閉成像顯示系統，關閉電腦，關閉設備總電源輸入。
3.根據權利要求1或2所述的一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，其特征在于：所述8英寸拋光片厚度為200μm-1500μm。
4.根據權利要求1或2所述的一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，其特征在于：所述8英寸拋光片的摻雜劑為As，P，Sb或B。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于天津中環領先材料技術有限公司，未經天津中環領先材料技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410660053.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
