[發(fā)明專利]用于燒結(jié)二氧化硅煙炱體的爐子在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410652747.5 | 申請日： | 2014-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN104654794A | 公開（公告）日： | 2015-05-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | R·B·寇派斯;A·芒迪;I·G·塞斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 賀利氏石英英國有限公司 |
| 主分類號： | F27B21/00 | 分類號： | F27B21/00;F27B21/14 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 郭輝 |
| 地址： | 英國*** | 國省代碼： | 英國;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 燒結(jié) 二氧化硅 煙炱體 爐子 | ||
1.一種用于燒結(jié)多孔合成二氧化硅的中空圓柱體的設(shè)備，所述設(shè)備包括用于在水平位置支撐所述中空圓柱體的中空心軸，該心軸置于真空爐之內(nèi)，該真空爐包括排布成在所述中空圓柱體的整個長度上沿著圓周環(huán)繞該中空圓柱體的加熱元件。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括在所述心軸端部的額外的加熱元件。
3.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述加熱元件包括耐火元件，例如石墨元件。
4.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述心軸是圓柱的。
5.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述心軸由石墨或碳化硅制成。
6.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述心軸是多孔的或者具有孔洞。
7.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，為所述心軸提供電加熱裝置。
8.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述心軸是可旋轉(zhuǎn)的。
9.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述心軸具有固定件，防止所述中空圓柱體軸向收縮。
10.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括多個所述心軸，各自用于支撐所述二氧化硅體。
11.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，在所述心軸的端部和中空圓柱體之間具有低摩擦材料。
12.一種燒結(jié)多孔合成二氧化硅的中空圓柱體的方法，所述方法包括將所述中空圓柱體支撐于在真空爐中的水平取向的中空心軸上，其中將加熱元件設(shè)置成環(huán)繞所述中空圓柱體；并通過所述加熱元件將所述中空圓柱體加熱到燒結(jié)溫度。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述方法包括在選定的惰性氣體例如氮氣或氦氣的氣氛中加熱所述中空圓柱體。
14.如權(quán)利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述方法包括在減壓下，在低于會導致所述中空圓柱體的孔閉合而形成不可滲透表面層的最大脫水溫度的溫度下，將所述中空圓柱體加熱預定的時間。
15.如權(quán)利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述方法包括在包括反應性氣體的氣氛中加熱所述中空圓柱體，所述反應性氣體選自下組：含氯或氟、四氟化硅、碳氟氣體、氫、氨、硅氧烷或硅氮烷的氣體。
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